特許
J-GLOBAL ID：200903066438757399

圧電センサ装置とそれを用いた電気的定数変化の検出方法

発明者：
廣田 寿一

廣田 寿一 について

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大西 孝生

大西 孝生 について

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宮田 恵造

宮田 恵造 について

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柴田 和義

柴田 和義 について


出願人/特許権者：
日本碍子株式会社

日本碍子株式会社 について


代理人 (1件)： 渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-081500
公開番号（公開出願番号）：特開平11-281562
出願日： 1998年03月27日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：
【要約】【課題】 振動系の振動のしやすさや圧電体振動子の分極状態の変化に起因する測定値のバラツキを小さくすることが可能な圧電センサ装置を提供する。【解決手段】 一対の電極14a、14bによって挟着された圧電体12からなる圧電体振動子10と、圧電体振動子10に振動を励起する電圧を印加する電源と、圧電体12の振動に伴う電気的定数の変化を検出する電気的定数監視手段とを備え、該電気的定数の変化を、定められた条件を満たす電気的定数を与える時の圧電体12の振動の周波数の変化として検出する圧電センサ装置であって、該周波数の値を、定まった電気的定数を与える2点以上の周波数から求める手段を備えた圧電センサ装置。
請求項（抜粋）：
一対の電極によって挟着された圧電体からなる圧電体振動子と、該圧電体振動子に振動を励起する電圧を印加する電源と、該圧電体の振動に伴う電気的定数の変化を検出する電気的定数監視手段とを備え、該電気的定数の変化を、定められた条件を満たす電気的定数を与える時の該圧電体の振動の周波数の変化として検出する圧電センサ装置であって、該周波数の値を、定まった電気的定数を与える2点以上の周波数から求める手段を備えたことを特徴とする圧電センサ装置。
IPC (4件)：
G01N 11/16 ,  G01L 1/10 ,  G01N 9/00 ,  H01L 41/08
FI (4件)：
G01N 11/16 Z ,  G01L 1/10 A ,  G01N 9/00 C ,  H01L 41/08 Z
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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