特許
J-GLOBAL ID：200903066485430209
振動体デバイスの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-037094
公開番号（公開出願番号）：特開2006-229271
出願日： 2005年02月15日
公開日（公表日）： 2006年08月31日
要約：
【課題】 基板から振動体を形成し、この振動体に電極を形成する振動体デバイスの製造方法において、基板上に形成された形状をフォトレジスト層を通して視認すると、形状の輪郭が不明瞭となり、形状を正確に認識できなくなってしまう。【解決手段】 電圧が印加される第1の領域とこの第1の領域を除く領域であって電圧が印加されない第2の領域とを電気的に分離するように電極用金属膜を形成し、電極用金属膜を電極として電着フォトレジストを付着することにより、電気的に分離された第2の領域には電着フォトレジストが付着しないので、基板上に形成された形状が明瞭に認識できるようになり、視認性が向上した。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
基板から振動体を形成し、この振動体に電極を形成する振動体デバイスの製造方法であって、
前記基板から前記振動体の外形をエッチングで形成する外形形成工程と、
前記振動体の表裏面および側面部に、電極用金属膜を付着する電極用金属膜付着工程と、
前記電極用金属膜を電極として電着フォトレジストを付着する電着フォトレジスト付着工程と、
前記電着フォトレジストを露光、現像して振動体に電極を形成する電極形成工程と、を有し、
前記フォトレジスト付着工程を行う前に、前記電極用金属膜を電圧が印加される第1の領域とこの第1の領域を除く第2の領域とに分離すると共に、前記第1の領域と前記第2の領域とが電気的に接続されないように前記第1の領域と前記第2の領域とを電気的に分離することを特徴とする振動体デバイスの製造方法。
IPC (6件)：
H03H 3/02
, H03H 9/02
, H01L 41/09
, H01L 41/18
, H01L 41/187
, H01L 41/22
H03H3/02 D
, H03H9/02 H
, H01L41/08 C
, H01L41/18 101A
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101D
, H01L41/22 Z
5J108BB02
, 5J108BB08
, 5J108CC06
, 5J108KK01
, 5J108KK07
, 5J108MM11
, 5J108MM15
, 5J108NA03
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
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