特許

J-GLOBAL ID：200903066538261102

流体供給装置

発明者： 大見 忠弘 ,  加賀爪 哲 ,  杉山 一彦 ,  池田 信一 ,  西野 功二 ,  川田 幸司 ,  皆見 幸男 ,  土肥 亮介 ,  山路 道雄
出願人/特許権者： 株式会社フジキン ,  大見 忠弘 ,  東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 杉本 丈夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-009961
公開番号（公開出願番号）：特開平11-212653
出願日： 1998年01月21日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】 流体の供給開始時や切換時に過渡的に発生する流体のオーバーシュート現象を防止し、常に高精度な流体制御が出来るようにする。【解決手段】 流体流量を制御するプレッシャーフローコントローラと、その二次側の流体通路を開閉する流体切換弁と、プレッシャーフローコントローラと流体切換弁の作動を制御する流体供給制御装置とから成り、且つ前記プレッシャーフローコントローラをオリフィス5と、オリフィス5の上流側に設けたコントロール弁1と、コントロール弁1とオリフィス5間に設けた圧力検出器3と、圧力検出器3の検出圧力P1 から流量Qc=KP1 (但しKは定数)として演算した流量信号Qcと流量指令信号Qsとの差を制御信号Qyとして前記コントロール弁1の駆動部2へ出力する演算制御装置6とから形成すると共に、前記コントロール弁1の開閉によりオリフィス5の上流側圧力P1 を調整し、オリフィス5の下流側の流量を制御する構成とする

請求項（抜粋）：

流体の流量を制御するプレッシャーフローコントローラ(C)と、プレッシャーフローコントローラ(C)の二次側の流体通路(L)を開閉する流体切換弁(D)と、プレッシャーフローコントローラ(C)と流体切換弁(D)の作動を制御する流体供給制御装置(B)とから成り、且つ前記プレッシャーフローコントローラ(C)をオリフィス(5)と、オリフィス(5)の上流側に設けたコントロール弁(1)と、コントロール弁(1)とオリフィス(5)間に設けた圧力検出器(3)と、圧力検出器(3)の検出圧力P1 から流量Qc=KP1 (但しKは定数)として演算した流量信号Qcと流量指令信号Qsとの差を制御信号Qyとして前記コントロール弁(1)の駆動部(2)へ出力する演算制御装置(6)とから形成すると共に、前記コントロール弁(1)の開閉によりオリフィス(5)の上流側圧力P1 を調整し、オリフィス(5)の下流側の流量を制御する構成としたことを特徴とする流体供給装置。

IPC (4件)：

G05D 7/06 ,  F16K 31/06 340 ,  G05D 11/13 ,  G05D 21/00

FI (4件)：

G05D 7/06 B ,  F16K 31/06 340 ,  G05D 11/13 D ,  G05D 21/00 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 圧力式流量制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-144722   出願人：株式会社フジキン
• 絶縁酸化膜の形成方法及び半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-122699   出願人：大見忠弘