特許
J-GLOBAL ID：200903066584627006
電子ビーム描画装置および電子ビーム検査装置および電子ビーム顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-112895
公開番号（公開出願番号）：特開2007-287895
出願日： 2006年04月17日
公開日（公表日）： 2007年11月01日
要約：
【課題】高速かつ高精度な電子ビーム偏向を可能にする電子ビーム描画装置もしくは電子ビーム検査装置および電子ビーム顕微鏡を提供する。【解決手段】真空筐体101内部に偏向電極のインピーダンスを整合させるインピーダンス整合手段を備え、インピーダンス整合手段が伝送手段を中心として該伝送手段の終端部の周囲に配置された一対の抵抗器であるか、もしくは複数配置されているか、もしくは円筒状の抵抗器とする。さらに、インピーダンス整合手段が、伝送手段の終端と前記電極との間に配置されたシールド電極であり、前記シールド電極と前記偏向器の電極との間隔を調整する。また、伝送手段および前記インピーダンス整合手段と前記偏向器の温度を一定に保つ温度制御部を有し、前記伝送手段が同軸構造であり、その外部導体を熱伝導媒体として用い、外部導体の周囲を金属で囲む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料を載置する試料台と、該試料に対して電子ビームを照射することにより、試料上に任意のパターンを描画する電子光学系と、当該電子光学系を格納する真空筐体とを備えた電子ビーム描画装置において、
前記電子光学系は、前記電子ビームに対して偏向信号を印加するための電極を備えた偏向器を有し、
前記真空筐体の外部に配置された前記偏向信号を発生する信号発生器と、
前記電極に対して、前記真空筐体を介して前記偏向信号を供給する信号伝送手段と、
前記信号発生器と前記伝送手段のインピーダンスに対して、前記電極のインピーダンスを整合させるインピーダンス整合手段とを備え、
当該インピーダンス整合手段が、該信号伝送手段の終端部に配置された抵抗器を含むことを特徴とする電子ビーム描画装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, H01J 37/305
, H01J 37/147
, G03F 7/20
H01L21/30 541B
, H01J37/305 B
, H01J37/147 C
, G03F7/20 504
2H097AA03
, 2H097BA10
, 2H097CA16
, 2H097LA10
, 5C033GG03
, 5C034BB04
, 5F056AA02
, 5F056CB05
, 5F056CB12
, 5F056EA06
出願人引用 (5件)
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米国特許4445041号
-
日本特許3057042号
-
荷電粒子ビーム露光装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-340281
出願人：株式会社アドバンテスト
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審査官引用 (3件)
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