荷電粒子ビーム露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-340281
公開番号（公開出願番号）：特開平11-176719
出願日： 1997年12月10日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：

【要約】【課題】 BAA露光装置において、BAA制御回路40からブランキング電極に至る信号伝送路の伝送速度を向上させ、BAA駆動速度を高速化する。【解決手段】荷電粒子ビーム露光装置であって、内部が真空に保持されたコラム3と、荷電粒子ビーム発生手段1と、荷電粒子ビームを整形する開孔33及び電極34,35 を2次元的に配列した荷電粒子ビームを整形するブランキングアパチャーアレイ(BAA)30 と、BAA 制御回路40と、BAA 制御回路40の出力を電極35に印加するためのコラムの外部から内部まで延びるBAA 信号伝送路72とを備える荷電粒子ビーム露光装置において、BAA 制御回路の出力インピーダンスとBAA 信号伝送路の伝送インピーダンスはほぼ一致しており、電極34からコラムの外部にまで延びる同一の伝送インピーダンスを有し、伝送インピーダンスとほぼ一致したインピーダンスで終端された補助伝送路82を備える。

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビームを使用して試料に所定の露光パターンを形成する荷電粒子ビーム露光装置であって、内部が真空に保持されたコラムと、該コラム内に設けられた荷電粒子ビームを発生する荷電粒子ビーム発生手段と、前記コラム内の、前記荷電粒子ビーム発生手段からの荷電粒子ビームの光路中に配設され、前記荷電粒子ビームを整形する開孔及び該開孔の周囲に設けられた電極の組を2次元的に配列し、各電極に電圧信号を印加するかしないかにより前記荷電粒子ビームを整形するブラッキングアパーチャーアレイと、前記コラムの外部に設けられ、前記露光パターンに従って各開孔の電極に印加する電圧信号を出力するブラッキングアパーチャーアレイ制御回路と、該ブラッキングアパーチャーアレイ制御回路から出力される前記電圧信号を各開孔の電極に印加するための複数のチャンネルで構成され、前記コラムの外部から前記コラムの内部まで延びるブラッキングアパーチャー信号伝送路とを備える荷電粒子ビーム露光装置において、前記ブラッキングアパーチャーアレイ制御回路の出力インピーダンスと、前記ブラッキングアパーチャー信号伝送路の伝送インピーダンスはほぼ一致しており、各開孔の前記電極から前記コラムの外部にまで延びる複数のチャンネルで構成され、前記伝送インピーダンスとほぼ一致した伝送インピーダンスを有し、前記伝送インピーダンスとほぼ一致したインピーダンスで終端された補助伝送路を備えることを特徴とする荷電粒子ビーム露光装置。

引用特許：

出願人引用 (5件)

荷電粒子ビーム露光方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-292650 出願人：富士通株式会社
差動仮想接地ビームブランカ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-049944 出願人：エテック・システムズ・インコーポレイテッド
電子ビーム露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-044468 出願人：富士通株式会社

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