特許
J-GLOBAL ID:200903066633611730

ギャップ出し治具

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-150249
公開番号(公開出願番号):特開平10-325960
出願日: 1997年05月23日
公開日(公表日): 1998年12月08日
要約:
【要約】【課題】 ガラス基板サイズに影響されずに汎用性が高く、熱硬化性樹脂の硬化均一性の高いギャップ出し治具を提供する。【構成】 ガラス基板2を載置させるための耐熱性及び気密性を有した下シ-ト3と、該下シ-ト3に張力を加え固定可能とした枠状の下プレ-ト1と、で成る下治具Aと;前記下シ-ト3の上方に位置し気密性及び可撓性を有する上シ-ト10と、該上シ-ト10を気密を保って固定可能とした枠状の上プレ-ト9と、で成る上治具Bと;前記上プレ-ト9及び下プレ-ト1の間の周縁に設けた環状パッキン12と、該環状パッキン12の内側に設けられた吸引孔13と;を具備することを特徴とするギャップ出し治具。
請求項(抜粋):
ガラス基板2を載置させるための耐熱性及び気密性を有した下シ-ト3と、該下シ-ト3に張力を加え固定可能とした枠状の下プレ-ト1と、で成る下治具Aと;前記下シ-ト3の上方に位置し気密性及び可撓性を有する上シ-ト10と、該上シ-ト10を気密を保って固定可能とした枠状の上プレ-ト9と、で成る上治具Bと;前記上プレ-ト9及び下プレ-ト1の間の周縁に設けた環状パッキン12と、該環状パッキン12の内側に設けられた吸引孔13と;を具備することを特徴とするギャップ出し治具。
引用特許:
審査官引用 (6件)
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