特許

J-GLOBAL ID：200903066651529910

ウエハ検査装置

発明者： 品田 伸宏
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 土井 健二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-245792
公開番号（公開出願番号）：特開平10-092887
出願日： 1996年09月18日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】構造が簡単で低コストのウエハ裏面を検査するための検査装置を提供する。【解決手段】表面を上側にして載置されたウエハを保持し、ウエハの裏面を露出させるウエハ検査装置において、表面を上側にして載置されたウエハを保持するウエハ保持アームと、回転駆動を生成する駆動手段と、駆動手段により回転させられ、ウエハ保持アームを上昇させて該載置されたウエハの裏面側に下側から近づかせ、ウエハをウエハ保持アームに水平状態で持ち上げさせるウエハ保持アーム上昇手段と、駆動手段により回転させられ、ウエハを保持したウエハ保持アームをウエハの裏面が露出されるまで回転させるウエハ保持アーム回転手段とを有することを特徴とする。単一の回転駆動装置により、ウエハ保持アームの上昇と回転を行うことができ、構造が単純になり低コスト省スペースにすることができる。

請求項（抜粋）：

表面を上側にして載置されたウエハを保持し、該ウエハの裏面を露出させるウエハ検査装置において、該表面を上側にして載置されたウエハを保持するウエハ保持アームと、回転駆動を生成する駆動手段と、該駆動手段により回転させられ、前記ウエハ保持アームを上昇させて該載置されたウエハの裏面側に下側から近づかせ、該ウエハを前記ウエハ保持アームに水平状態で持ち上げさせるウエハ保持アーム上昇手段と、該駆動手段により回転させられ、前記ウエハを保持したウエハ保持アームを該ウエハの裏面が露出されるまで回転させるウエハ保持アーム回転手段とを有することを特徴とするウエハ検査装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/66 J ,  G01N 21/88 E ,  H01L 21/68 N

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ウエハ検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-237206   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• ウエハ検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-137799   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平4-101949
  
• 特開平4-101949