特許
J-GLOBAL ID：200903066668089476
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 坪井 淳
, 河野 哲
, 風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-321315
公開番号（公開出願番号）：特開2004-156958
出願日： 2002年11月05日
公開日（公表日）： 2004年06月03日
要約：
【課題】生体試料に損傷を与えることなくカンチレバーを安定に励振できる液中用走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】走査型プローブ顕微鏡100は、液体102を保持する液体ステージ110と、自由端に探針122を有するカンチレバー124と、液体102中でカンチレバー124を保持するホルダー126と、液体102中で生体試料104を保持する試料台132と、カンチレバー124に対して生体試料104をXY走査とZ走査するXYZスキャナー134とを有し、更に、カンチレバー124をその液体中での機械的共振周波数で励振するために、超音波を発生させるトランスデューサー170と、トランスデューサー170を駆動するトランスデューサー駆動回路180とを有し、トランスデューサー170は生体試料上の観察箇所から外れているカンチレバー124の部分に収束した超音波束を照射する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
液体中の生体試料を探針(プローブ)により観察する液中用走査型プローブ顕微鏡であって、水平面に共に平行で互いに直交するX軸とY軸と、水平面に直交するZ軸とを有しており、走査型プローブ顕微鏡は、
液体を保持する液体ステージと、
自由端に探針を有するカンチレバーと、
液体ステージに保持された液体中においてカンチレバーを保持するホルダーと、
液体ステージに保持された液体中において生体試料を保持する試料台と、
カンチレバーに対して生体試料を少なくともZ軸に沿って移動させる(Z走査する)スキャナーと、
カンチレバーをその液体中での機械的共振周波数近傍の周波数で励振するカンチレバー励振手段と、
カンチレバーの自由端の変位を光学的に検出し、その変位を反映する変位信号を出力する変位検出センサーと、
変位検出センサーからの変位信号に基づいてカンチレバーの振動振幅を算出し、その振動振幅を反映する振幅信号を出力する振幅検出回路と、
振幅検出回路からの振幅信号に基づいてZ軸に沿ったカンチレバーと生体試料の間隔の目標値を求め、その目標値に対応するZ制御信号を出力するZ制御回路と、
Z制御信号に従ってスキャナーのZ軸に沿った変位を制御するZ駆動回路と、Z制御信号に基づいて生体試料の表面の情報を演算により求めると共に、求めた生体試料の表面の情報を表示する演算表示部とを有しており、
カンチレバー励振手段は、収束性の超音波束を発生させるトランスデューサーと、トランスデューサーを駆動するトランスデューサー駆動回路とで構成され、トランスデューサーは生体試料上の観察箇所から外れているカンチレバーの部分に収束した超音波束を照射する、走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N13/10 A
, G01N13/10 D
, G01B21/30
2F069AA06
, 2F069HH30
, 2F069MM02
, 2F069MM23
審査官引用 (2件)
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試料測定用プローブ装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-176210
出願人：オリンパス光学工業株式会社
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走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-319454
出願人：オリンパス光学工業株式会社
引用文献：
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