現像装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福島祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-037890
公開番号（公開出願番号）：特開平9-232212
出願日： 1996年02月26日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】現像ノズルの先端に付着した現像液を確実に除去することが可能な現像装置を提供することである。【解決手段】待機ポット4の内側に洗浄ノズル30を設ける。洗浄ノズル30の洗浄液吐出路31の先端は、現像ノズル9の先端部に向けて配置されている。洗浄ノズル30から洗浄液を吐出すると、現像ノズル9の先端部に付着した現像液の液滴が洗い流され、ドレイン配管21から排出される。

請求項（抜粋）：

基板の上方から現像液を供給する位置と、基板上から退いた待機位置との間を移動可能に設けられた現像ノズルを備えた現像装置であって、前記待機位置にある前記現像ノズルの先端部に向かって洗浄液を吐出する洗浄液吐出手段を備えたことを特徴とする現像装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/30 501 , H01L 21/304 341

FI (3件)：

H01L 21/30 569 Z , G03F 7/30 501 , H01L 21/304 341 Z

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平4-118067
塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-167582 出願人：日本電気株式会社
レジスト塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-289390 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社

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審査官引用 (1件)

特開平4-118067

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