特許

J-GLOBAL ID：200903066804904499

ルイス酸性ガスの貯蔵およびデリバリーのためのルイス塩基性反応性化合物を含む液体媒体

発明者： ダニエル ジョゼフ テンペル ,  フィリップ ブルース ヘンダーソン ,  ジェフリー リチャード ボゾゾウスキー ,  ロナルド マーティン パールスタイン
出願人/特許権者： エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド
代理人 (5件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  吉井 一男 ,  西山 雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-302206
公開番号（公開出願番号）：特開2006-138470
出願日： 2005年10月17日
公開日（公表日）： 2006年06月01日
要約：

【課題】ルイス酸性を有するガス、特に電子工業において利用されるBF3およびジボラン等の有害なガスを、低圧貯蔵およびデリバリーするシステムを構築する。【解決手段】改良点は、ルイス酸性を有するガス間の可逆反応を行うことができるルイス塩基性を有する反応性化合物を取り込んだ液体中で該ガスを貯蔵することにある。反応性化合物は、非揮発性液体中に、溶解、懸濁または分散され、または混合された反応種を含む。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

ガスの貯蔵およびデリバリーのためのシステムであって;ガスを貯蔵できる媒体を含む容器で、且つ前記媒体中に貯蔵された前記ガスの該容器中からのデリバリーを可能にする容器から構成される貯蔵およびデリバリーのシステムにおいて、 液体キャリアおよびルイス塩基性を有する反応性化合物を取り込んだ(incorporating)液体媒体中の可逆性反応状態におけるルイス酸性を有するガスを貯蔵するシステム。

IPC (1件)：

F17C 11/00

FI (1件)：

F17C11/00 B

Fターム (1件)：

3E072EA07

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 気体化合物の貯蔵と送出のシステム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-007073   出願人：アドバンスド.テクノロジー.マテリアルス.インコーポレイテッド
• 気体源用製造プロセスおよび供給システム
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平10-550592   出願人：アドバンスト・テクノロジィ・マテリアルズ・インコーポレイテッド
• 特開昭61-201601
  

審査官引用 (4件)

• 気体化合物の貯蔵と送出のシステム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-007073   出願人：アドバンスド.テクノロジー.マテリアルス.インコーポレイテッド
• 気体源用製造プロセスおよび供給システム
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平10-550592   出願人：アドバンスト・テクノロジィ・マテリアルズ・インコーポレイテッド
• 特開昭61-201601
  
• 特開昭61-201601