特許

J-GLOBAL ID：200903066832213892

フィルタおよび分波器

発明者： 西原 時弘 ,  谷口 眞司 ,  岩城 匡郁 ,  横山 剛 ,  坂下 武 ,  上田 政則 ,  斎藤 康之
出願人/特許権者： 富士通メディアデバイス株式会社 ,  富士通株式会社
代理人 (1件)： 片山 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-124447
公開番号（公開出願番号）：特開2007-300216
出願日： 2006年04月27日
公開日（公表日）： 2007年11月15日
要約：

【課題】通過帯域に生じるリップルを低減することが可能なフィルタおよび分波器を提供すること。【解決手段】本発明は、基板(10)と、基板上に設けられた下部電極(12)と、下部電極上に設けられた圧電膜(14)と、圧電膜上に設けられた上部電極(16)とを有する複数の圧電薄膜共振子を具備し、複数の圧電薄膜共振子の少なくとも1つの圧電薄膜共振子は、前記圧電膜を挟み前記下部電極と前記上部電極との対向する部位の形状が、他の圧電薄膜共振子に対しスプリアスの発生周波数が異なるような形状であることを特徴とするフィルタおよび分波器である。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

基板と、該基板上に設けられた下部電極と、該下部電極上に設けられた圧電膜と、該圧電膜上に設けられた上部電極とを有する複数の圧電薄膜共振子を具備し、 前記複数の圧電薄膜共振子の少なくとも1つの圧電薄膜共振子は、前記圧電膜を挟み前記下部電極と前記上部電極との対向する部位の形状が、他の圧電薄膜共振子に対しスプリアスの発生周波数が異なるような形状であることを特徴とするフィルタ。

IPC (6件)：

H03H 9/54 ,  H03H 9/58 ,  H03H 9/70 ,  H03H 9/17 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187

FI (6件)：

H03H9/54 Z ,  H03H9/58 A ,  H03H9/70 ,  H03H9/17 F ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101B

Fターム (14件)：

5J108AA01 ,  5J108AA07 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108FF02 ,  5J108FF04 ,  5J108JJ01 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108KK03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 圧電薄膜共振子及びフィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-360054   出願人：富士通メディアデバイス株式会社, 富士通株式会社

審査官引用 (2件)

• フィルタ、及びこれを用いた分波器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-086083   出願人：TDK株式会社
• 薄膜圧電共振器とそれを用いた薄膜圧電フィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-043331   出願人：宇部興産株式会社