特許
J-GLOBAL ID：200903099491813034

薄膜圧電共振器とそれを用いた薄膜圧電フィルタ

発明者：
岩下 和樹

岩下 和樹 について

, 
山田 哲夫

山田 哲夫 について


出願人/特許権者：
宇部興産株式会社

宇部興産株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-043331
公開番号（公開出願番号）：特開2007-227998
出願日： 2006年02月21日
公開日（公表日）： 2007年09月06日
要約：
【課題】 横音響モードの発生を抑制した高いQ値を有する薄膜圧電共振器を提供するとともに、低挿入損失を実現できる薄膜圧電共振器フィルタを容易に提供する。【解決手段】 圧電層と該圧電層を挟んで対向するように形成された上部電極と下部電極とを有する圧電共振器スタックと、該圧電共振器スタックの下に形成された空隙部と、該空隙部を形成するように圧電共振器スタックを支持する基板とからなる薄膜圧電共振器であり、前記圧電共振器スタックは、前記基板面に並行な平面方向において、前記上部電極と下部電極とが厚み方向で互いに重なる振動領域と、基板に接する支持領域、および、前記振動領域と前記支持領域の間の緩衝領域とからなり、前記振動領域と支持領域との距離である前記緩衝領域の幅wが、前記振動領域の圧電共振器スタックの厚みtに対して、0.25<w/t<2の範囲にあることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
圧電層と該圧電層を挟んで対向するように形成された上部電極と下部電極とを有する圧電共振器スタックと、該圧電共振器スタックの下に形成された空隙部と、該空隙部を形成するように圧電共振器スタックを支持する基板とからなる薄膜圧電共振器であり、前記圧電共振器スタックは、前記基板面に並行な平面方向において、前記上部電極と下部電極とが厚み方向で互いに重なる振動領域と、基板に接する支持領域、および、前記振動領域と前記支持領域の間の緩衝領域とからなり、前記振動領域と支持領域との距離である前記緩衝領域の幅wが、前記振動領域の圧電共振器スタックの厚みtに対して、0.25<w/t<2の範囲にあることを特徴とする薄膜圧電共振器。
IPC (5件)：
H03H 9/17 ,  H03H 9/54 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22
FI (5件)：
H03H9/17 F ,  H03H9/54 Z ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/22 Z
Fターム (16件)：
5J108AA01 ,  5J108BB07 ,  5J108CC04 ,  5J108CC10 ,  5J108CC11 ,  5J108DD01 ,  5J108DD06 ,  5J108DD07 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108FF02 ,  5J108FF04 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 米国特許第6,788,170号公報
  • 米国特許第6,215,375号公報
審査官引用 (8件)
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