位相計測システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：小谷悦司 , 伊藤孝夫 , 樋口次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-179829
公開番号（公開出願番号）：特開2006-003212
出願日： 2004年06月17日
公開日（公表日）： 2006年01月05日
要約：

【課題】パターン光を投影した試料の画像に、フーリエ変換を施し位相を求め、それをもとに試料の3次元形状を計測する装置において、入力する画像の枚数を削減し、計測時間の短縮を図る。【解決手段】プロジェクタ6から試料1に投影された第1のピッチを有するパターンの参照画像が、カメラ5により撮像される。続いて、プロジェクタ6から試料に投影された第2のピッチを有するパターンの測定画像が、カメラ5により撮像される。ここで、パターン光の第2のピッチは、第1のピッチを有するパターン光の位相分解能を基準として算出される値によって決められる。そして、得られた参照画像をもとに、測定画像の位相接続が行われる。これにより試料の3次元形状が求められる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

周期的なパターン光を試料に投影するパターン光投影手段と、前記パターン光投影手段により投影された前記試料上の前記パターン光の画像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された、第1のピッチを有するパターン光の第1の参照画像を記憶する第1の参照画像記憶手段と、前記撮像手段により撮像された、前記第1のピッチを有するパターン光の位相分解能に基づいて算出される値以下の第2のピッチを有するパターン光の測定画像を記憶する測定画像記憶手段と、前記第1の参照画像及び測定画像をそれぞれ位相データに変換する位相データ変換手段と、前記位相データ変換手段により変換された前記第1の参照画像の位相データである第1の参照位相画像を記憶する第1の参照位相画像記憶手段と、前記位相データ変換手段により変換された前記測定画像の位相データである測定位相画像を記憶する測定位相画像記憶手段と、前記第1の参照位相画像に基づいて、前記測定位相画像を補正する位相接続手段とを備えることを特徴とする位相シフト法を用いた位相計測システム。

IPC (2件)：

G01B 11/25 , G06T 1/00

FI (3件)：

G01B11/24 E , G06T1/00 315 , G06T1/00 430G

Fターム (28件)：

2F065AA04 , 2F065AA51 , 2F065FF04 , 2F065HH07 , 2F065HH12 , 2F065JJ08 , 2F065JJ19 , 2F065JJ26 , 2F065MM02 , 2F065QQ03 , 2F065QQ24 , 2F065QQ29 , 2F065QQ31 , 2F065RR08 , 5B047AA07 , 5B047BA02 , 5B047BB04 , 5B047BC12 , 5B047BC14 , 5B047BC23 , 5B047CA19 , 5B047CB22 , 5B047DC07 , 5B057AA20 , 5B057CA12 , 5B057CB13 , 5B057CD14 , 5B057CH01

引用特許：

出願人引用 (2件)

形状計測方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-289179 出願人：和歌山大学長
形状計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-192166 出願人：シーケーディ株式会社, 株式会社ネクスタ

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