外観検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小西淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-254099
公開番号（公開出願番号）：特開平11-083455
出願日： 1997年09月04日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【課題】リードフレーム等の金属試料の外観検査方法において、外形不良の検出ができ、且つ、表面不良の擬似欠陥部と致命的欠陥部との判別を効率的にできる外観検査装置を提供する。【解決手段】金属板を外形加工して作製されたリードフレーム等の金属試料に対し、形状不良と表面不良とを検査する外観検査装置であって、被検査物である金属試料の検査領域全域に対し、形状不良と表面不良とを検査する1次検査部と、被検査物である金属試料に対し、1次検査部が表面不良候補と判断した箇所のみを検査する2次検査部とを備えたもので、且つ、1次検査部の表面不良の検出は、欠陥部と擬似欠陥部とを区分けできるものでなく、表面不良候補を検出するもので、2次検査部の表面不良の検出は、欠陥部と擬似欠陥部とが区分けできるものである。

請求項（抜粋）：

金属板を外形加工して作製されたリードフレーム等の金属試料に対し、形状不良と表面不良とを検査する外観検査装置であって、被検査物である金属試料の検査領域全域に対し、形状不良と表面不良とを検査する1次検査部と、被検査物である金属試料に対し、1次検査部が表面不良候補と判断した箇所のみを検査する2次検査部とを備えたもので、且つ、1次検査部の表面不良の検出は、欠陥部と擬似欠陥部とを区分けできるものでなく、表面不良候補を検出するもので、2次検査部の表面不良の検出は、欠陥部と擬似欠陥部とが区分けできるものであることを特徴とする外観検査装置。

IPC (4件)：

G01B 11/24 , G01J 3/46 , G01N 21/88 , H01L 23/50

FI (5件)：

G01B 11/24 C , G01B 11/24 K , G01J 3/46 Z , G01N 21/88 Z , H01L 23/50 Z

引用特許：

審査官引用 (6件)

パターン欠陥検査方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-039202 出願人：株式会社日立製作所
特開昭61-252653
リード測定方法およびリード測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-340666 出願人：株式会社日立製作所, アキタ電子株式会社

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