特許
J-GLOBAL ID：200903066873353062

ズーム光学系および該ズーム光学系を備えた露光装置および露光方法

発明者：
小松田 秀基

小松田 秀基 について

, 
高橋 哲男

高橋 哲男 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-090735
公開番号（公開出願番号）：特開2000-284176
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：
【要約】【課題】 焦点距離の変化に際して物体面および像面の位置並びに入射瞳および射出瞳の位置が実質的に変化することのないズーム光学系。【解決手段】 焦点距離の変化に際して、少なくとも3つのレンズ群は所定の軌道に沿って移動する。所定の軌道は、物体面および像面の位置並びに入射瞳および射出瞳の位置を実質的に変化させないように定められている。最大焦点距離状態への焦点距離の変化に際して、ズーム光学系の屈折力配置が物体側から順に正・負・正の屈折力配置へ近づくように変化する。最小焦点距離状態への焦点距離の変化に際して、ズーム光学系の屈折力配置が物体側から順に負・正・負の屈折力配置へ近づくように変化する。
請求項（抜粋）：
瞳面よりも像側または物体側のみに配置された少なくとも4つのレンズ群を備え、該少なくとも4つのレンズ群のうちの少なくとも3つのレンズ群を光軸に沿って移動させて焦点距離を連続的に変化させるズーム光学系において、焦点距離の最も長い最大焦点距離状態と焦点距離の最も短い最小焦点距離状態との間の焦点距離の変化に際して、前記少なくとも3つのレンズ群は所定の軌道に沿って移動し、前記所定の軌道は、物体面および像面の位置並びに入射瞳および射出瞳の位置を実質的に変化させないように定められ、前記最大焦点距離状態への焦点距離の変化に際して、前記ズーム光学系の屈折力配置が物体側から順に正・負・正の屈折力配置へ近づくように変化し、前記最小焦点距離状態への焦点距離の変化に際して、前記ズーム光学系の屈折力配置が物体側から順に負・正・負の屈折力配置へ近づくように変化することを特徴とするズーム光学系。
IPC (3件)：
G02B 15/20 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G02B 15/20 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D
Fターム (55件)：
2H087KA21 ,  2H087LA24 ,  2H087LA25 ,  2H087LA26 ,  2H087NA02 ,  2H087NA04 ,  2H087PA07 ,  2H087PA17 ,  2H087PB07 ,  2H087QA02 ,  2H087QA03 ,  2H087QA06 ,  2H087QA07 ,  2H087QA14 ,  2H087QA19 ,  2H087QA21 ,  2H087QA22 ,  2H087QA25 ,  2H087QA26 ,  2H087QA34 ,  2H087QA39 ,  2H087QA41 ,  2H087QA42 ,  2H087QA45 ,  2H087QA46 ,  2H087RA07 ,  2H087RA26 ,  2H087RA32 ,  2H087RA43 ,  2H087SA23 ,  2H087SA24 ,  2H087SA26 ,  2H087SA27 ,  2H087SA29 ,  2H087SA30 ,  2H087SA32 ,  2H087SA33 ,  2H087SA62 ,  2H087SA63 ,  2H087SA64 ,  2H087SA75 ,  2H087SB02 ,  2H087SB12 ,  2H087SB15 ,  2H087SB22 ,  2H087SB25 ,  2H087SB32 ,  2H087TA06 ,  5F046BA04 ,  5F046CA02 ,  5F046CA04 ,  5F046CA08 ,  5F046CB13 ,  5F046CB14 ,  5F046CB23
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM