多層膜反射鏡、多層膜反射鏡の製造方法、多層膜反射鏡の応力の制御方法および露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永井冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-200272
公開番号（公開出願番号）：特開2001-027700
出願日： 1999年07月14日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：

【要約】【課題】多層膜の内部応力を低減した多層膜反射鏡の提供。【解決手段】軟X線波長域における屈折率と真空の屈折率との差が大きい物質で形成される層31と、前記差が小さい物質で形成される層32とを基板2上に積層して成る多層膜反射鏡1において、層31を物質Aからなる層311と物質Cからなる層312との多層構造とした。ここで、物質Aおよび物質Cは軟X線波長域における複素屈折率の実部の大きさが同程度の物質としたので、2つの界面を内包する層31は一つの重原子層と見なすことができる。

請求項（抜粋）：

使用波長域における屈折率と真空の屈折率との屈折率差が大きい物質で形成され、使用波長と前記屈折率差が大きい物質の屈折率とに応じて決められた所定の厚さを有する第1の層と、前記屈折率差が小さい物質で形成され、前記使用波長と前記屈折率差が小さい物質とに応じて決められた所定の厚さを有する第2の層とから成る層対を、基板上に複数積層して成る多層膜反射鏡において、前記層対の少なくとも一つの層対における前記第1の層または第2の層の少なくともどちらか一方の層は、前記使用波長域における複素屈折率の実部が同程度である少なくとも2種類の物質を交互に前記所定の厚さまで積層した多層構造を有すること特徴とする多層膜反射鏡。

IPC (4件)：

G21K 5/02 , G02B 5/08 , G03F 7/20 503 , H01L 21/027

FI (4件)：

G21K 5/02 X , G02B 5/08 A , G03F 7/20 503 , H01L 21/30 531 A

Fターム (18件)：

2H042DA01 , 2H042DA10 , 2H042DA12 , 2H042DC02 , 2H042DE00 , 2H042DE07 , 2H097AA02 , 2H097AB09 , 2H097CA15 , 2H097GB01 , 5F046AA08 , 5F046AA22 , 5F046BA05 , 5F046CA10 , 5F046CB02 , 5F046CB13 , 5F046CB23 , 5F046CB25

引用特許：

審査官引用 (14件)

特表平4-502213
特開平2-242201
特表平4-502213

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