特許
J-GLOBAL ID：200903066896414891
プラズマディスプレイパネル製造用のプロセスチャンバーおよびそれを用いた製造方法並びにその製造方法によるプラズマディスプレイパネル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 田中・岡崎アンドアソシエイツ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-365308
公開番号（公開出願番号）：特開2005-197245
出願日： 2004年12月17日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：
【課題】 従来の製造工程の欠点を克服できるプラズマディスプレイパネルの製造システムと方法を提供する。【解決手段】 複数のディスプレイセルを含むプラズマディスプレイの製造のためのプロセスチャンバーであって、ベースプレート、第一シール部材によって前記ベースプレートに接合することができ、内部空洞が前記ベースプレートとその間に形成されるガス配給プレート、および前記ガス配給プレートの開口に取り付けられ、前記内部空洞に設置された前記プラズマディスプレイパネルアセンブリの複数のディスプレイセルに混合ガスを封入するように構成されたガスフローチューブを含むプロセスチャンバーとした。【選択図】 図2E
請求項（抜粋）：
複数のディスプレイセルを含むプラズマディスプレイの製造のためのプロセスチャンバーであって、
ベースプレートと、
前記ベースプレートに第一シール部材によって接合できるとともに、前記ベースプレートとの間に空洞を形成するガス配給プレートと、
前記ガス配給プレートの開口に取り付けられ、前記空洞に配置された前記プラズマディスプレイパネルアセンブリの複数のディスプレイセルに混合ガスを封入するように構成されたガスフローチューブとを備えることを特徴とするプロセスチャンバー。
IPC (4件)：
H01J9/385
, H01J9/26
, H01J9/395
, H01J11/02
H01J9/385 A
, H01J9/26 A
, H01J9/395 A
, H01J11/02 Z
5C012AA09
, 5C012BC03
, 5C012BC04
, 5C012BD01
, 5C012BD03
, 5C012PP01
, 5C012PP03
, 5C012PP08
, 5C040HA01
, 5C040HA04
, 5C040HA06
