特許

J-GLOBAL ID：200903066914064208

気体清浄化方法および気体清浄化装置

発明者： 村岡 久志 ,  嶋崎 綾子 ,  塩谷 廣範 ,  松尾 秀逸
出願人/特許権者： 株式会社ピュアレックス ,  株式会社東芝 ,  株式会社 日曹分析センター ,  東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-088263
公開番号（公開出願番号）：特開平10-277364
出願日： 1997年04月07日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：

【要約】【課題】 気体中の有害物質等を長期間に亘って良好に除去することが可能な気体清浄化方法を提供する。【解決手段】 少なくとも表面がシリカ(SiO2 )からなる繊維状物を圧縮して形成したエレメント、または前記繊維状物を布状または紙状に加工したエレメントで構成されるフィルタにより気体中の有害な化学的微量成分および有害なミスト状汚染物を除去することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

少なくとも表面がシリカ(SiO2 )からなる繊維状物を圧縮して形成したエレメント、または前記繊維状物を布状または紙状に加工したエレメントで構成されるフィルタにより気体中の有害な化学的微量成分および有害なミスト状汚染物を除去することを特徴とする気体清浄化方法。

IPC (4件)：

B01D 53/72 ,  B01D 39/14 ,  B01D 46/00 ,  B01D 53/40

FI (4件)：

B01D 53/34 120 D ,  B01D 39/14 L ,  B01D 46/00 E ,  B01D 53/34 118 Z

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 半導体製造用エアフイルタ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-086046   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 特開昭52-149288
  
• 高強度けい酸繊維の製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-087146   出願人：東北大学長, 東北電力株式会社, 小野田セメント株式会社
• 特開平2-026612
  
• 特開平1-135531
  

審査官引用 (5件)

• 半導体製造用エアフイルタ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-086046   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 特開昭52-149288
  
• 高強度けい酸繊維の製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-087146   出願人：東北大学長, 東北電力株式会社, 小野田セメント株式会社
• 特開平2-026612
  
• 特開平1-135531