曲面加工装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-139444
公開番号（公開出願番号）：特開平10-315111
出願日： 1997年05月14日
公開日（公表日）： 1998年12月02日
要約：

【要約】【課題】自由曲面の研磨等の精度加工において表面粗さの向上とうねり除去を容易に行う曲面加工装置を提供する。【解決手段】 3軸直動スライド部2によりX,Y,Z軸方向に被加工物7を移動制御し加工具8の軌跡と被加工物曲面9とを一致させると共に例えばZ軸方向に移動する1軸直動スライド部3を設けてZ軸方向の切り込みを適宜与えて曲面加工を行う。加工具8による工具押し付け力は力センサ5を介してパソコン6aに入力され、パソコン6aはこの工具押し付け力と目標工具押し付け力の差分を基にして数種類の制御量を演算し、この制御量を基にした制御パラメータにより第1および第2の電磁弁11,12から高圧エアを複室式エアシリンダ10に導入し、加工具8の工具押し付け力を調整制御する。これにより、曲面粗さおよびうねりが除去され高精度の曲面加工が可能になる。

請求項（抜粋）：

被加工物の表面に加工具を倣い動作しつつ曲面加工を行う加工装置であって、該装置は、直交3軸(X,Y,Z軸)方向に被加工物を移動する3軸直動スライド部と、前記3軸のうちの1軸に平行に移動し前記加工具を固持する1軸直動スライド部と、該1軸直動スライド部に推力を与えて前記加工具により被加工物に工具押し付け力を負荷する推力発生機構部と、該推力発製機構部により被加工物に負荷された工具押し付け力を検知する力センサと、該力センサの出力値と目標工具押し付け力とを参照し、その差分を基にして演算した制御パラメータにより前記推力発生機構部による工具押し付け力を制御する制御機構部とを設けることを特徴とする曲面加工装置。

IPC (2件)：

B24B 17/10 , B23Q 35/00

FI (2件)：

B24B 17/10 H , B23Q 35/00 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

研磨ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-033749 出願人：株式会社ニコン
ダイヤモンド膜の研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-130183 出願人：キヤノン株式会社
特開平3-277459

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