外観検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-135259
公開番号（公開出願番号）：特開2004-340648
出願日： 2003年05月14日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：

【課題】走査方向に起因する画像の差を解消し、パターン欠陥の検査精度を向上させることを可能とした外観検査装置および外観検査方法を提供する。【解決手段】被検査物上に行列方向に等間隔で連続的に配列された同一形状を有するパターンをイメージセンサを走査して得られる検出画像と事前に記憶された参照画像とを比較して欠陥を検出する外観検査装置において、参照画像に対するイメージセンサの走査方向と検出画像を得るときのイメージセンサの走査方向とを同一とした構成とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被検査物上に行列方向に等間隔で連続的に配列された同一形状を有するパターンをイメージセンサを走査して得られる検出画像と事前に記憶された参照画像とを比較して欠陥を検出する外観検査装置において、前記参照画像に対する前記イメージセンサの走査方向と前記検出画像を得るときの前記イメージセンサの走査方向とを同一としたことを特徴とする外観検査装置。

IPC (3件)：

G01N21/956 , G06T1/00 , H01L21/66

FI (4件)：

G01N21/956 A , G06T1/00 305A , G06T1/00 400D , H01L21/66 J

Fターム (24件)：

2G051AA51 , 2G051AB02 , 2G051CA04 , 2G051EA08 , 2G051EA12 , 2G051EB01 , 2G051ED04 , 2G051ED08 , 2G051ED11 , 4M106AA01 , 4M106AA09 , 4M106BA10 , 4M106CA39 , 4M106DB21 , 5B047AA12 , 5B047BA01 , 5B047BB02 , 5B047BC16 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057DA03 , 5B057DB02

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-210249
特開平2-210249
外観検査方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-327531 出願人：株式会社日立製作所

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