特許
J-GLOBAL ID：200903067099449082

試料台およびこれを用いた基板評価装置

発明者：
明野 公信

明野 公信 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-348165
公開番号（公開出願番号）：特開2000-174102
出願日： 1998年12月08日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：
【要約】【課題】 ペリクル枠などが貼られていても複数のサイズの基板を任意の方向で高精度に保持することが可能な試料台を提供する。【解決手段】 基台2と、基台2に固定された固定支持部3と、基台2に設けられた駆動手段6により移動可能な可動支持部4とを有し、可動支持部4を移動させることにより複数種の大きさの被保持基板を保持することが可能な試料台であって、固定支持部3および可動支持部4には、前記被保持基板の1辺の両端近傍で接触保持することが可能な保持部対7a、7b〜10a、10b及び17a、17b〜20a、20bが複数形成されていることを特徴とする試料台。
請求項（抜粋）：
基台と、前記基台に設けられた支持部と、前記基台に設けられ、前記支持部を移動操作する駆動手段とを有し、前記駆動手段により前記支持部を移動操作することによって複数種の大きさの被保持基板を保持することが可能な試料台であって、前記支持部には、被保持基板の1辺の両端近傍で接触保持することが可能な保持部対が複数形成されていることを特徴とする試料台。
IPC (7件)：
H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  G01N 21/00 ,  G01N 21/13 ,  G03F 1/08 ,  G03F 1/14 ,  H01L 21/027
FI (7件)：
H01L 21/68 G ,  B65G 49/07 D ,  G01N 21/00 B ,  G01N 21/13 ,  G03F 1/08 S ,  G03F 1/14 M ,  H01L 21/30 502 V
Fターム (27件)：
2G057AA07 ,  2G057AB04 ,  2G057AC05 ,  2G057HA02 ,  2G057HA03 ,  2G057HB01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB16 ,  2G059EE09 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ13 ,  2G059LL01 ,  2H095BB29 ,  2H095BD29 ,  2H095BE11 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031HA27 ,  5F031HA30 ,  5F031HA57 ,  5F031HA59 ,  5F031JA38 ,  5F031JA50 ,  5F031KA08 ,  5F031MA33 ,  5F031PA16
引用特許：
審査官引用 (7件)
  • テーブル装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-253194   出願人：株式会社東芝
  • 被処理材の固定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-012927   出願人：東芝機械株式会社
  • 特開昭64-080036
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