特許

J-GLOBAL ID：200903067197588694

アクティブ除振装置

発明者： 栗原 雅樹 ,  堀内 敏彦 ,  大竹 生司 ,  今野 隆雄 ,  中村 富男
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 吉岡 宏嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-199751
公開番号（公開出願番号）：特開2001-027280
出願日： 1999年07月14日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：

【要約】【課題】 振動に起因する機器の上下方向位置における水平方向相対変位、特に、搭載機器内部にある加振源による機器本体の振動による水平方向相対変位を抑制する。【解決手段】 筒状弾性体23と粘弾性体30aとからなるパッシブ除振部材と、前記筒状弾性体23内に配置された高さ調整機構55に支持された上下方向用アクチュエータ32aと、水平方向用アクチュエータ32bとを一体にしたアクティブ除振マウント3で支持された基板4と、基板4に搭載された機器50に設けたアクティブマスダンパ20と、前記基板4と機器50の振動を検出する振動センサ17と、機器50に内装された加振源を駆動する機器用コントローラ9及び振動センサ17の出力を入力としてアクチュエータ32a,32b、32cを制御する除振用コントローラ18と、を含んでアクティブ除振装置を構成した。

請求項（抜粋）：

機器が搭載された基板に水平方向の力を加える水平方向用アクチュエータと、前記基板に上下方向の力を加える上下方向用アクチュエータと、前記基板の振動を検出する振動センサと、該振動センサの出力を入力として前記水平方向用及び上下方向用アクチュエータの動作を制御する除振用コントローラと、を含んで構成されて前記機器の振動を抑制するアクティブ除振装置において、前記機器の振動を検出する振動センサを設け、前記除振用コントローラは、前記基板の振動を検出する振動センサの出力と前記機器の振動を検出する振動センサの出力を入力として前記水平方向用アクチュエータの動作を制御するように構成されていることを特徴とするアクティブ除振装置。

IPC (5件)：

F16F 15/02 ,  F16F 9/04 ,  G05D 19/02 ,  H01J 37/16 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

F16F 15/02 A ,  F16F 9/04 ,  G05D 19/02 D ,  H01J 37/16 ,  H01L 21/30 503 F

Fターム (17件)：

3J048AA02 ,  3J048AB07 ,  3J048AD01 ,  3J048BC02 ,  3J048BD08 ,  3J048BF12 ,  3J048CB22 ,  3J048DA01 ,  3J048EA13 ,  3J069BB01 ,  3J069CC01 ,  3J069EE61 ,  5F046AA23 ,  5F046CC20 ,  5F046DA04 ,  5F046DB14 ,  5F046DC14

引用特許：

審査官引用 (3件)

• アクティブ除振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-266650   出願人：株式会社日立製作所
• 動吸振器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-270401   出願人：株式会社東芝
• 電子線描画装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-243735   出願人：株式会社日立製作所