液晶用露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：猪熊克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-084632
公開番号（公開出願番号）：特開平9-244254
出願日： 1996年03月13日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】小型、軽量、低コスト、高解像、広フィールドの液晶用露光装置を提供する。【解決手段】ウエハ2に転写しようとするパターン1aを記録したマスク1の後ろ側に前段マイクロ・レンズ・アレイ10を配置することによって、該前段マイクロ・レンズ・アレイ10の配列区域ごとに180°回転した区域ごと倒立等倍部分パターン像3を結像し、該区域ごと倒立等倍部分パターン像3の後ろ側に、前段マイクロ・レンズ・アレイ10の配列と同一の配列よりなる後段マイクロ・レンズ・アレイ15を配置することによって、ウエハ2上に部分パターンの正立等倍像4を結像し、マスク1及びウエハ2と、前段及び後段マイクロ・レンズ・アレイ10,15とを、パターン1aの行方向xに向って相対的にスキャンし、このスキャンをパターンの列方向yに相対的にシフトして繰り返すことによって、ウエハ2上にパターン1aを転写する。

請求項（抜粋）：

ウエハに転写しようとするパターンを記録したマスクの後ろ側に前段マイクロ・レンズ・アレイを配置することによって、該前段マイクロ・レンズ・アレイの配列区域ごとに180°回転した区域ごと倒立等倍部分パターン像を結像し、該区域ごと倒立等倍部分パターン像の後ろ側に、前記前段マイクロ・レンズ・アレイの配列と同一の配列よりなる後段マイクロ・レンズ・アレイを配置することによって、ウエハ上に前記部分パターンの正立等倍像を結像し、前記マスク及びウエハと、前記前段及び後段マイクロ・レンズ・アレイとを、前記パターンの行方向に向って相対的にスキャンし、前記マスク及びウエハと、前記前段及び後段マイクロ・レンズ・アレイとを、前記パターンの列方向に向って相対的にシフトして、前記スキャンを繰り返すことによって、ウエハ上に前記パターンを転写する、液晶用露光装置。

IPC (4件)：

G03F 7/20 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , G03F 1/08

FI (4件)：

G03F 7/20 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , G03F 1/08 C

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭53-122426
特開昭58-049903
走査型露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-057088 出願人：株式会社ニコン

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