特許
J-GLOBAL ID：200903067233331549

診断装置及び診断方法

発明者：
小杉 眞人

小杉 眞人 について

, 
石本 聡

石本 聡 について

, 
小西 信介

小西 信介 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (1件)： 服部 毅巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-152326
公開番号（公開出願番号）：特開2004-355330
出願日： 2003年05月29日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：
【課題】多くのセンサを用いた検出においても、確実に精度よく半導体製造装置の異常を検出する。【解決手段】センサ情報取得部11が半導体製造装置20の動作状態を表す複数のセンサ30-1、30-2、...、30-mからの信号データを所定の時間間隔で取得すると、記憶部12から、半導体製造装置20が正常動作状態の下でセンサ30-1、30-2、...、30-mにより取得した正常信号データからなるデータ群を取り出し、演算処理部13にて、信号データをセンサ30-1、30-2、...、30-mごとに重み付けし、正常信号データとのずれを示す距離を算出する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
半導体製造装置の装置状態を診断する診断装置において、 前記半導体製造装置の動作状態を表す複数のセンサからの信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部と、 前記半導体製造装置が正常動作状態の下で前記センサにより取得した正常信号データからなるデータ群を記憶する記憶部と、 前記信号データを前記センサごとに重み付けし、前記正常信号データとのユークリッド距離を算出する演算処理部と、 を有することを特徴とする診断装置。
IPC (3件)：
G05B23/02 ,  H01L21/02 ,  H01L21/3065
FI (3件)：
G05B23/02 T ,  H01L21/02 Z ,  H01L21/302 103
Fターム (10件)：
5F004BC03 ,  5F004BD04 ,  5F004CA02 ,  5F004CA03 ,  5F004CA09 ,  5F004CB01 ,  5H223AA06 ,  5H223DD03 ,  5H223EE30 ,  5H223FF01
引用特許：
審査官引用 (5件)
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