特許

J-GLOBAL ID：200903067352623353

被加工物自転型ワイヤソー及びウェハ製造方法

発明者： 小幡 文雄 ,  坂本 智 ,  松原 潤治
出願人/特許権者： 鳥取大学長 ,  株式会社滝澤鉄工所
代理人 (1件)： 森 廣三郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-310529
公開番号（公開出願番号）：特開2000-135663
出願日： 1998年10月30日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】【課題】 硬脆材料を効率的に切断できるワイヤソーを開発する。【解決手段】 被加工物1を自転させる支持部10と、ワイヤ4を走行させながら前記被加工物1に押し当てるワイヤ走行部8と、被加工物1に対するワイヤ4の切断点Cに向けて砥粒を供給する砥粒供給部12とからなる被加工物自転型ワイヤソーを用い、ワイヤ4を走行させながら自転する被加工物1に押し当ててこの被加工物1を周縁から回転軸5に向けて切断していき、回転軸5をわずかに残した段階でウェハ相当部2相互を熱可塑性物質により一時的に固着した後、ワイヤ4のみを走行させて残る回転軸5を切除することにより、被加工物1からウェハを分離するウェハ製造方法を実施する。

請求項（抜粋）：

被加工物を自転させる支持部と、研削用ワイヤを走行させながら前記被加工物に押し当てるワイヤ走行部と、被加工物に対する研削用ワイヤの切断点に向けて砥粒を供給する砥粒供給部とからなることを特徴とする被加工物自転型ワイヤソー。

IPC (3件)：

B24B 27/06 ,  B28D 5/04 ,  H01L 21/304 611

FI (3件)：

B24B 27/06 F ,  B28D 5/04 C ,  H01L 21/304 611 W

Fターム (23件)：

3C058AA05 ,  3C058AA11 ,  3C058AA18 ,  3C058AB01 ,  3C058AB04 ,  3C058CA01 ,  3C058CA04 ,  3C058CA05 ,  3C058CA06 ,  3C058CB03 ,  3C058CB05 ,  3C058DA02 ,  3C058DA03 ,  3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069BB02 ,  3C069BB04 ,  3C069CA04 ,  3C069CB01 ,  3C069CB04 ,  3C069DA06 ,  3C069EA01 ,  3C069EA02