193nmより短い波長を用いた照明光学系のための、不使用領域を持つ集光器

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：渡邊隆 , 志賀正武 , 村山靖彦 , 実広信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-565318
公開番号（公開出願番号）：特表2005-501221
出願日： 2002年01月23日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：

本発明は、EUV領域の波長を用いた照明光学系のために、光源から放射される光を受容して像側の所定の平面内の領域を照明するように構成された集光器に関するものである。この集光器は、共通の回転軸線の周りに入れ子式に設けられた複数の回転対称の反射鏡椀形状部を有し、各反射鏡椀形状部には、物体側の開口の一つの環状開口構成要素がそれぞれ対応させられており、反射鏡椀形状部の第1の光学面の子午面内における始点及び終点によって規定される内側と外側の周辺光線は、回転軸線周りに回転されて光ビームを画定し、該光ビームが上記第1の光学面上で反射され、物体側の開口から、照明すべき平面へ向かって当該集光器自身を通過するように設けられている。本発明は、反射鏡椀形状部の表面パラメータ及び位置が、隣り合う2つの反射鏡椀形状部の間に、不使用領域が形成されるように選ばれていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

波長が193nm以下、好ましくは126nm以下、特に好ましくはEUV領域の波長を用いた照明光学系のために、光源から放射される光を物体側の開口を介して受容しかつ像側の所定の平面内の領域を照明するように構成され、第1の光学面を有する少なくとも一つの第1の反射鏡セグメントをそれぞれ備えた複数の回転対称の反射鏡椀形状部を有する集光器であって、前記反射鏡椀形状部は、共通の回転軸線の周りに互いに内と外に嵌り合うように入れ子式に設けられ、各反射鏡椀形状部には、物体側の開口の一つの環状開口構成要素がそれぞれ割り当てられており、前記第1の光学面には、前記回転軸線を含む平面である子午面内において一つの始点及び終点がそれぞれ設けられ、前記子午面内の前記第1の光学面の前記始点は、外側の周辺光線を、そして、前記子午面内の前記第1の光学面の前記終点は、内側の周辺光線を規定し、前記回転軸線周りに回転された内側と外側の周辺光線は、光ビームを画定し、該光ビームが少なくとも前記反射鏡椀形状部の第1の光学面上で反射され、前記物体側の開口から、照明すべき前記平面へ向かって、当該集光器自身を通過するように設けられ、前記光ビームにより、隣り合う少なくとも2つの前記反射鏡椀形状部の間の使用領域が定められている、集光器において、前記反射鏡椀形状部の表面パラメータ及び位置は、隣り合う少なくとも2つの反射鏡椀形状部の間に、少なくとも一つの不使用領域が形成されるように選ばれていることを特徴とする集光器。

IPC (5件)：

G21K1/06 , G03F7/20 , G21K5/00 , G21K5/02 , H01L21/027

FI (5件)：

G21K1/06 B , G03F7/20 503 , G21K5/00 Z , G21K5/02 X , H01L21/30 531A

Fターム (13件)：

2H097AA02 , 2H097CA06 , 2H097CA13 , 2H097CA15 , 5F046BA05 , 5F046CA08 , 5F046CB01 , 5F046CB23 , 5F046DA26 , 5F046GA03 , 5F046GA14 , 5F046GB01 , 5F046GC03

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭54-055177
露光装置及び露光方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-324769 出願人：株式会社ニコン
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-324802 出願人：株式会社ニコン

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