特許
J-GLOBAL ID：200903060127833018

露光装置

発明者：
太田 和哉

太田 和哉 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-324802
公開番号（公開出願番号）：特開平11-243052
出願日： 1998年11月16日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：
【要約】【課題】 照明光の照射に起因する結像特性の悪化を効果的に抑制する。【解決手段】 投影光学系POを構成する複数のミラーの内の熱伝導率が小さな材料(低膨張ガラス)により形成されたミラーM1の反射面上の照明光の非照射領域に配置されたヒートパイプHP及びこれに接続された冷却ジャケット52を備える。このため、かなりの温度変化に対してはその変形が結像特性を悪化させることがないという低膨張ガラスの長所を生かすとともに、限界を超える温度変化が生じないように反射面を直接冷却することにより、照明光の照射に起因する投影光学系の結像特性の悪化を防止することができ、結果的に照明光の照射に起因する結像特性の悪化を抑制することが可能になる。
請求項（抜粋）：
照明光によりマスクを照射し、該マスクに形成されたパターンを投影光学系を介して基板上に転写する露光装置であって、前記投影光学系として複数のミラーから成る反射光学系が用いられ、前記複数のミラーの内の少なくとも1つのミラーが熱伝導率が小さい材料により形成され、前記熱伝導率が小さい材料から成るミラーの前記照明光が照射される反射面上の前記照明光の非照射領域に配置された冷却装置を備える露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521
FI (4件)：
H01L 21/30 516 E ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 F ,  H01L 21/30 517
引用特許：
審査官引用 (11件)
  • 特開昭63-312641
  • 投影露光方法および投影露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-326507   出願人：株式会社日立製作所
  • 特開昭61-243405
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