オゾン生成装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：志賀富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-202921
公開番号（公開出願番号）：特開2003-020208
出願日： 2001年07月04日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：

【要約】【課題】オゾンチャンバー9内のオゾン含有ガスを冷凍機20によって冷却することにより液化オゾンを生成する装置では、冷凍機の故障など温度制御が困難になった場合にオゾンガス爆発が発生する恐れがある。【解決手段】予備チャンバー29は、あらかじめ真空に保持され、オゾンチャンバーとの間に常閉のバルブ30を介して連結される。オゾンチャンバー内の温度制御が困難になった場合にバルブ30を開いてオゾンチャンバー内のオゾン含有ガスおよび液化オゾンを予備チャンバー内に真空排気させることでオゾンガス爆発を防止する。

請求項（抜粋）：

オゾンガス発生装置によってオゾン含有ガスを発生してオゾンチャンバーに導入し、冷凍機によって前記オゾンチャンバー内部を冷却することにより前記オゾンチャンバー内に液化オゾンを生成し、オゾンキラーと真空ポンプを有するオゾン排気装置によって前記オゾンチャンバー内で液化されなかったオゾンガスおよび酸素ガスを排気できるオゾン生成装置において、あらかじめ真空に保持され、前記オゾンチャンバーとの間に常閉のバルブを介して連結される予備チャンバーと、前記オゾンチャンバー内の温度制御が困難になった場合に前記バルブを開いて前記オゾンチャンバー内のオゾン含有ガスおよび液化オゾンを前記予備チャンバー内に真空排気させる制御手段とを備えたことを特徴とするオゾン生成装置。

Fターム (4件)：

4G042CA01 , 4G042CB06 , 4G042CC12 , 4G042CE04

引用特許：

出願人引用 (3件)

オゾン生成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-318031 出願人：経済産業省産業技術総合研究所長, 株式会社明電舎
オゾン製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-198436 出願人：三菱電機株式会社
高濃度オゾン水製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-108399 出願人：長倉正昭, はい島比呂志

審査官引用 (3件)

オゾン生成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-318031 出願人：経済産業省産業技術総合研究所長, 株式会社明電舎
オゾン製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-198436 出願人：三菱電機株式会社
高濃度オゾン水製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-108399 出願人：長倉正昭, はい島比呂志

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