トポグラフ測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-008181
公開番号（公開出願番号）：特開2002-214113
出願日： 2001年01月16日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：

【要約】【課題】本発明は、従来の非接触型原子間力顕微鏡による表面トポグラフ計測の際に、カンチレバー先端で検出される引力には原子間力と静電気力の両方が含まれるために正確な表面トポグラフを計測できないという欠点を克服し、従来法では正確な表面トポグラフ計測が困難であった試料表面に対しても、そのトポグラフを正確に計測する技術を提供するものである。【解決手段】本発明による新トポグラフ測定方法およびその装置は、カンチレバーと試料間の引力勾配を一定に維持しながらカンチレバーで試料表面を走査することにより計測する非接触型原子間力顕微鏡において、カンチレバーと試料間に作用する静電気力を検出し、該静電気力が最小となるカンチレバーバイアス電位をカンチレバーにフィードバックすることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

カンチレバーと試料間の引力勾配を一定に維持しながらカンチレバーで試料表面を走査することにより計測する非接触型原子間力顕微鏡において、カンチレバーと試料間に作用する静電気力を検出し、該静電気力が最小となるカンチレバーバイアス電位をカンチレバーにフィードバックすることを特徴とするトポグラフ測定方法。

IPC (3件)：

G01N 13/16 , G01B 7/34 , G01B 21/30

FI (3件)：

G01N 13/16 A , G01B 7/34 Z , G01B 21/30

Fターム (24件)：

2F063AA43 , 2F063CA40 , 2F063DA01 , 2F063DB05 , 2F063DD02 , 2F063EA16 , 2F063EB15 , 2F063EB23 , 2F063HA00 , 2F063LA04 , 2F063LA11 , 2F063LA23 , 2F063LA30 , 2F069AA60 , 2F069DD30 , 2F069GG04 , 2F069GG06 , 2F069GG62 , 2F069HH04 , 2F069HH30 , 2F069JJ07 , 2F069LL03 , 2F069LL11 , 2F069NN09

引用特許：

審査官引用 (1件)

物性情報測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-348584 出願人：セイコー電子工業株式会社

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