特許
J-GLOBAL ID：200903067481601145
変位鏡装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-232032
公開番号（公開出願番号）：特開平10-073755
出願日： 1996年09月02日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：
【要約】【課題】 振動を惹起することが無く安定な光路長変化を実現し高速制御が可能な変位鏡装置を提供する。【解決手段】 一端に反射鏡102を付着した圧電アクチュエータ101の他端に重り(平衡質量)103を付着し、この圧電アクチュエータを長手方向の一点(以下、固定点)において支持枠104により固定し、反射鏡の質量Mと固定点から反射鏡までの距離Lの積MLと、重りの質量M′と固定点から重りまでの距離L′の積M′L′を等しく設定する(ML=M′L′)。反射鏡に掛る力の反作用と重りに掛る力の反作用が、その固定点上で互いに打ち消し合い、結果として固定点あるいはこれを保持するマウントには力が加わらない結果、振動の誘発が防がれる。
請求項（抜粋）：
圧電アクチュエータの一端に鏡を付着し、前記圧電アクチュエータに印加する電圧によって前記鏡の位置を変える変位鏡装置において、残り端に重りを付着した前記圧電アクチュエータを、長手方向の1点において固定し、前記鏡の質量と前記1点から前記鏡までの距離との第1の積と、前記重りの質量と前記1点から前記重りまでの距離との第2の積を等しくしたことを特徴とする変位鏡装置。
引用特許：
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