特許
J-GLOBAL ID：200903067490065612
スクラブ洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-045153
公開番号（公開出願番号）：特開平8-241880
出願日： 1995年03月06日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：
【要約】【目的】 洗浄ヘッドと被洗浄面との接触部分に対し、従来よりも効率良く洗浄液を供給することができるスクラブ洗浄装置を提供する。【構成】 導液部11bが設けられた回転支持体11及び回転支持体11の洗浄面11aに植毛された複数本の洗浄毛12を有する洗浄ブラシ10を備えたスクラブ洗浄装置に対し、回転支持体11の洗浄面11aに複数の液孔11cを設けて、洗浄液供給系L1,L2により導液部11bを介して液孔11cから洗浄液を放出させる構成とした。
請求項（抜粋）：
回転支持体の洗浄面に洗浄部材を取り付けてなる洗浄ヘッドを回転させるとともに、その回転させた洗浄ヘッドに洗浄液を供給しつつ被洗浄面を洗浄するスクラブ洗浄装置において、前記回転支持体の洗浄面側に複数の液孔を有するとともに、前記回転支持体の内部に設けられた導液部を介して前記液孔から前記洗浄液を放出させるための洗浄液供給系を備えたことを特徴とするスクラブ洗浄装置。
IPC (4件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, B08B 1/04
, B08B 7/04
H01L 21/304 341 B
, H01L 21/304 341 N
, B08B 1/04
, B08B 7/04
