特許
J-GLOBAL ID：200903067500825734

θリニアモータ、リニアモータ駆動ステージ及びθ-Y-Xステージ

発明者：
豊崎 則男

豊崎 則男 について

, 
池田 泰則

池田 泰則 について

, 
平柳 栄治郎

平柳 栄治郎 について


出願人/特許権者：
NEOMAX機工株式会社

NEOMAX機工株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-349410
公開番号（公開出願番号）：特開2005-192389
出願日： 2004年12月02日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：
【課題】 θ方向への推力が大きく薄型のθリニアモータ、及び高精度で薄型のθ-Y-Xステージを提供する。【解決手段】 円弧状に配設された複数の永久磁石及びヨークとで断面形状が略コの字状の磁気回路を形成した磁気回路部と多相コイルとが対向配設されて相対移動するθリニアモータを備えたθステージと、θステージ上に載置されてY軸方向に駆動するY軸リニアモータを備えたY軸ステージと、Y軸ステージ上に載置されて該Y軸リニアモータのY軸可動子と直交する方向に駆動するX軸可動子を有するX軸リニアモータを備えたX軸ステージとから構成されたθ-Y-Xステージであり、θステージの外周側に位置検出手段が配設されているθ-Y-Xステージ。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
円弧状に配設された複数の永久磁石及びヨークとで断面形状が略コの字状の磁気回路を形成した磁気回路部と、前記磁気回路部が形成した磁気空隙に沿って円弧状に配設された多相コイルとが、前記磁気空隙を介して対向配設されて、前記磁気回路部と前記多相コイルとがθ方向に相対移動するように構成された多極多相型のリニアモータであって、 前記多相コイルは複数の扁平な平コイル及び曲げコイルから構成されており、前記扁平コイルの空芯部に該扁平コイルに隣接する他の扁平コイルの平面部が配設されることにより実質的に同一平面部からなる有効鎖交部が形成されていることを特徴とするθリニアモータ。
IPC (2件)：
H02K41/03 ,  H02K41/02
FI (2件)：
H02K41/03 A ,  H02K41/02 A
Fターム (9件)：
5H641BB06 ,  5H641BB15 ,  5H641BB16 ,  5H641BB17 ,  5H641GG03 ,  5H641GG05 ,  5H641GG07 ,  5H641HH02 ,  5H641JA03
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 揺動モータおよびステージ装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-100351   出願人：日立金属株式会社, 日立金属機工株式会社
  • 特公平8-13184号公報(第2図)
審査官引用 (4件)
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