特許
J-GLOBAL ID:200903067505080206

有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鳥居 洋
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-064429
公開番号(公開出願番号):特開平10-261487
出願日: 1997年03月18日
公開日(公表日): 1998年09月29日
要約:
【要約】【課題】 この発明は、有機材料を分解させずに、電子注入電極(陰極)の酸化を防止することができる酸化防止用保護膜を形成することを目的とする。【解決手段】 この発明は、ホール注入電極2と電子注入電極6との間に、有機層3、4、5が積層された有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、有機エレクトロルミネッセンス素子の少なくとも電子注入電極6側の面にECRプラズマCVD法で酸化防止用保護膜8を形成する。
請求項(抜粋):
ホール注入電極と電子注入電極との間に、有機層が積層された有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、有機エレクトロルミネッセンス素子の少なくとも電子注入電極側の面にECRプラズマCVD法で酸化防止用保護膜を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
IPC (3件):
H05B 33/10 ,  H05B 33/22 ,  H05B 33/26
FI (3件):
H05B 33/10 ,  H05B 33/22 ,  H05B 33/26
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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