有機エレクトロルミネセンス素子の製法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山谷晧榮 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-244243
公開番号（公開出願番号）：特開平8-111286
出願日： 1994年10月07日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：

【要約】【目的】有機EL素子においてステップカバレージの良好な保護膜を提供すること。【構成】電子注入手段4と、正孔注入手段2と、陽極1と、陰極5と、保護膜を具備する有機エレクトロルミネセンス素子において、保護膜7をECRプラズマCVD法により被覆したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

電子注入手段と、正孔注入手段と、陽極と、陰極と、保護膜を具備する有機エレクトロルミネセンス素子において、保護膜をECRプラズマCVD法により被覆したことを特徴とする有機エレクトロルミネセンス素子の製法。

IPC (3件)：

H05B 33/14 , C09K 11/06 , H05B 33/04

引用特許：

出願人引用 (11件)

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審査官引用 (11件)

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