特許
J-GLOBAL ID：200903067508182867
照明装置、露光装置及びマイクロデバイスの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-153026
公開番号（公開出願番号）：特開2005-340244
出願日： 2004年05月24日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：
【課題】 プラズマ発生時に飛散する粒子に対する高い耐久性を有し、かつ照明光として用いない光を利用して分光光学系の光学性能を検出することができる照明装置を提供する。【解決手段】 被照射面Mの照明に用いる基準波長である必要光を含む極端紫外光を供給する光源手段4と、前記光源手段4から供給された前記必要光を被照射面Mに導く照明光学系22,24,26,28と、前記光源手段4と前記照明光学系22,24,26,28との間に配置され、前記極端紫外光を前記必要光と前記被照射面Mの照明に用いない不要光とに分光する分光手段12と、前記分光手段12により分光された前記不要光を検出する検出手段32a,32bとを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被照射面の照明に用いる基準波長である必要光を含む極端紫外光を供給する光源手段と、
前記光源手段から供給された前記必要光を被照射面に導く照明光学系と、
前記光源手段と前記照明光学系との間に配置され、前記極端紫外光を前記必要光と前記被照射面の照明に用いない不要光とに分光する分光手段と、
前記分光手段により分光された前記不要光を検出する検出手段と、
を備えることを特徴とする照明装置。
IPC (4件)：
H01L21/027
, G03F7/20
, G21K1/06
, G21K5/00
H01L21/30 531A
, G03F7/20 503
, G21K1/06 F
, G21K5/00 A
, G21K5/00 Z
2H097AA02
, 2H097CA06
, 2H097CA15
, 2H097LA10
, 5F046GA03
, 5F046GB01
, 5F046GB07
, 5F046GC03
