特許
J-GLOBAL ID：200903067527638510
周波数安定化レーザ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-201142
公開番号（公開出願番号）：特開2007-019361
出願日： 2005年07月11日
公開日（公表日）： 2007年01月25日
要約：
【課題】レーザ光の発振周波数を安定化する周波数安定化レーザを提供する。【解決手段】参照用のレーザ光が吸収セルを透過して得られる光出力信号を検出する光検出装置26と、光出力信号の3次微分信号を生成する3次微分信号検出装置32,33と、共振器長を変化させる第1アクチュエータ125と、第1アクチュエータ125を駆動させる第1駆動装置31と、共振器長を変化させる第2アクチュエータ126と、第2アクチュエータ126を駆動させる第2駆動装置36と、光出力信号に基づき第1アクチュエータを制御する第1制御装置30と、3次微分信号に基づき第2アクチュエータにより共振器長を制御する第2制御装置35を備える。そして、第1アクチュエータ125および第2アクチュエータ126により共振器長を制御し、発振周波数を安定化させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
対向する位置に一対のミラーを配置してなる共振器により励起光を共振させてレーザ光を生成し、該レーザ光を吸収セルに照射して得られる光出力信号に基づき前記共振器長を変化させ前記レーザ光の発振周波数を安定化する周波数安定化レーザにおいて、
前記光出力信号を検出する光検出装置と、
前記光出力信号の3次微分信号を検出する3次微分信号検出装置と、
前記共振器長を変化させる第1アクチュエータと、
前記第1アクチュエータを駆動させる第1駆動装置と、
前記共振器長を変化させる第2アクチュエータと、
前記第2アクチュエータを駆動させる第2駆動装置と、
前記光出力信号に基づき前記第1駆動装置を制御する第1制御装置と、
前記3次微分信号に基づき前記第2駆動装置を制御する第2制御装置と
を備え、
前記第1アクチュエータおよび前記第2アクチュエータにより前記共振器長を制御することによって前記発振周波数を制御することを特徴とする周波数安定化レーザ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
5F172AE09
, 5F172AF02
, 5F172CC01
, 5F172NN24
, 5F172NP04
, 5F172NQ17
