特許

J-GLOBAL ID：200903067538462112

動的な焦点合わせ方法および装置

発明者： コーリー ワトキンス ,  マーク ハーレス ,  デービッド ボーン ,  パット シンプキンズ ,  シャイレシュクマー ゴーヤル ,  ジェラルド ブラウン ,  ブライアン デルジー
出願人/特許権者： オーガスト テクノロジー コーポレイション
代理人 (3件)： 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  森下 夏樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-203715
公開番号（公開出願番号）：特開2006-054441
出願日： 2005年07月12日
公開日（公表日）： 2006年02月23日
要約：

【課題】可変の形状を有する移動する目標表面上に、画像機構の焦点合わせを動的に行う方法を提供する。【解決手段】(1)目標表面の形状のモデルを作成すること、(2)目標表面の所定数の箇所の相対位置を測定すること、(3)その目標表面の所定数の箇所を用いて、そのモデルを目標表面に適用すること、(4)そのモデルの目標表面への適用によって得られたデータを用いて、移動する目標表面上へ画像機構の焦点合わせすること、によって、目標表面上に画像機構の焦点合わせを動的に行う。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

可変の形状を有する移動する目標表面上に、画像機構の焦点合わせを動的に行う方法であって、 目標表面の形状のモデルを作成することと、 該目標表面の所定数の箇所の相対位置を測定することと、 該目標表面の該所定数の箇所を用いて、該モデルを該目標表面に適用することと、 該モデルの該目標表面への適合によって得られたデータを用いて、該移動する目標表面上への該画像機構の焦点合わせをすることと を包含する、方法。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ,  G02B 7/28 ,  G01B 11/24

FI (3件)：

H01L21/66 J ,  G02B7/11 H ,  G01B11/24 K

Fターム (32件)：

2F065AA06 ,  2F065AA51 ,  2F065BB03 ,  2F065BB16 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065FF10 ,  2F065HH12 ,  2F065HH16 ,  2F065JJ03 ,  2F065LL01 ,  2F065LL46 ,  2F065MM04 ,  2F065MM06 ,  2F065PP02 ,  2F065PP03 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ17 ,  2H051AA15 ,  2H051BA70 ,  2H051CB14 ,  2H051DA21 ,  2H051DD09 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106DB04 ,  4M106DB08 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ05 ,  4M106DJ19 ,  4M106DJ20

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 半導体ウエハの外観検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-196737   出願人：株式会社安川電機, 株式会社日立製作所
• マスク検査方法、マスク検査装置、露光方法、及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-326559   出願人：株式会社ニコン
• 多層PCB(プリント回路基板)製造における寸法的な安定性及び位置決め精度を監視し、向上させるシステム及び方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-541578   出願人：ヴァイアシステムズグループ,アイエヌシー.