特許

J-GLOBAL ID：200903067565537108

光検出装置

発明者： 水野 誠一郎 ,  豊田 晴義 ,  向坂 直久
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-324092
公開番号（公開出願番号）：特開2003-130611
出願日： 2001年10月22日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
要約：

【要約】【課題】 簡易な構成で背景光成分を除去して正確な測定を行うことができる光検出装置を提供する。【解決手段】 光検出装置は投光部および検出部2を備える。検出部2はN個のユニット1001〜100Nおよびデジタル演算回路40を備える。各ユニット100nは、互いに同様の構成であって、M個の光検出セル101,n〜10M,n、積分回路20n、A/D変換回路30n、スイッチSWn01、スイッチSWn02およびスイッチSWn03を備える。M×N個の光検出セル101,1〜10M,NはM行N列に2次元配列されており、光検出セル10m,nは第m行第n列に位置している。積分回路20nの積分容量部の容量値は、光検出セル10m,nのセル容量部の容量値と等しい。投光部の投光動作および検出部2の光検出動作は互いに同期して動作する。

請求項（抜粋）：

測定対象物へ投光して前記測定対象物上の投光位置を検出する光検出装置であって、入射光強度に応じた電荷を発生するフォトダイオードと、このフォトダイオードで発生した電荷を蓄積する容量値Cdのセル容量部と、を各々有して配列された複数の光検出セルと、容量値Cdの積分容量部を有し、入力端子に入力した電荷を前記積分容量部に蓄積して、その蓄積された電荷の量に応じた積分値を出力端子より出力する積分回路と、前記光検出セルと前記積分回路の前記入力端子との間に設けられた第1のスイッチと、前記積分回路の前記出力端子と前記光検出セルとの間に設けられた第2のスイッチと、前記積分回路の前記出力端子から出力された積分値を入力し、この積分値をA/D変換して、この積分値に応じたデジタル値を出力するA/D変換回路と、前記A/D変換回路から出力されたデジタル値を入力し、このデジタル値に基づいて重心位置を求めるデジタル演算を行って、その演算結果を出力するデジタル演算回路と、前記測定対象物へ向けて投光する投光部と、前記投光部により前記測定対象物に投光された光の反射光を前記複数の光検出セルの配列面に結像させる結像光学系と、前記積分回路、前記第1のスイッチ、前記第2のスイッチ、前記A/D変換回路、前記デジタル演算回路および前記投光部それぞれの動作を制御する制御部と、を備えることを特徴とする光検出装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01C 3/06 ,  G01J 1/42

FI (3件)：

G01B 11/00 B ,  G01C 3/06 A ,  G01J 1/42 N

Fターム (30件)：

2F065AA06 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065FF01 ,  2F065FF44 ,  2F065GG06 ,  2F065HH04 ,  2F065HH05 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL08 ,  2F065QQ03 ,  2F112AA06 ,  2F112AA08 ,  2F112BA09 ,  2F112CA12 ,  2F112DA28 ,  2F112FA07 ,  2F112FA12 ,  2F112FA29 ,  2F112FA31 ,  2G065AA18 ,  2G065BA09 ,  2G065BA34 ,  2G065BC15 ,  2G065BC28 ,  2G065BC35 ,  2G065CA05

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 光検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-143506   出願人：浜松ホトニクス株式会社
• 光検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-286908   出願人：浜松ホトニクス株式会社
• 光検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-336921   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 3次元形状測定における光切断線の重心位置算出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-230552   出願人：光洋精工株式会社