特許
J-GLOBAL ID：200903067567712160

照度計測装置及び露光装置

発明者：
藤中 強

藤中 強 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 前田 均 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-023812
公開番号（公開出願番号）：特開2001-338868
出願日： 2001年01月31日
公開日（公表日）： 2001年12月07日
要約：
【要約】【課題】 照度計測を予定された時間内で確実に実施できるようにすることである。【解決手段】 照明されたマスクからのパターンの像を、基板ステージ上に保持される基板上に投影光学系により投射するようにした露光装置の該投影光学系の結像面における照明光の照度を計測する照度計測装置である。照度検知部52及び照度検知部52による計測結果を無線送信する送信装置82を有し、前記基板ステージに着脱自在に取り付けられる照度計50と、送信装置82により送信された計測結果を含む無線信号を受信する受信装置92とを備えている。照度計50は蓄電池86及び照明光の一部LB2を光電変換して蓄電池86に蓄電する光電変換装置88を備えている。
請求項（抜粋）：
照明されたマスクからのパターンの像を、基板ステージ上に保持される基板上に投影光学系により投射するようにした露光装置の該投影光学系の結像面における照明光の照度を計測する照度計測装置において、照度検知部及び該照度検知部による計測結果を無線送信する送信装置を有し、前記基板ステージに着脱自在に取り付けられる照度計と、前記送信装置により送信された計測結果を含む無線信号を受信する受信装置とを備えたことを特徴とする照度計測装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G01J 1/02 ,  G03F 7/20 521
FI (3件)：
G01J 1/02 S ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 D
Fターム (18件)：
2G065AA03 ,  2G065AA06 ,  2G065AB05 ,  2G065AB09 ,  2G065BA09 ,  2G065BA10 ,  2G065BA13 ,  2G065BB09 ,  2G065BB14 ,  2G065BC08 ,  2G065BC21 ,  2G065BC28 ,  2G065BC31 ,  2G065CA25 ,  2G065DA01 ,  2G065DA20 ,  5F046DA02 ,  5F046DB01
引用特許：
審査官引用 (8件)
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