照度計、照度計測方法及び露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田均 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-074861
公開番号（公開出願番号）：特開平11-260706
出願日： 1998年03月09日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：

【要約】【課題】露光装置の照明光の照度の計測作業を簡略し、照度計測に要する時間を短縮することである。【解決手段】露光対象としてのウエハと同様に搬送可能なように薄板状に形成されたダミーウエハ51に一体的に光センサ52を設けてなるウエハ型照度計50を用い、複数の露光装置間でこの照度計50をウエハと同様にウエハステージ上に順次搬入及び搬出しつつ、各露光装置の投影光学系の結像面近傍における照明光の照度を計測する。

請求項（抜粋）：

照明光学系により照明されたマスクからのパターンの像を、基板ステージ上に保持される感光基板上に投影光学系により投射するようにした露光装置の該投影光学系の結像面近傍における照明光の照度を計測する照度計において、前記感光基板と同様に搬送可能なように薄板状に形成されたダミー基板に一体的に照度検知部を設けてなることを特徴とする照度計。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G01J 1/02

FI (3件)：

H01L 21/30 516 C , G01J 1/02 S , H01L 21/30 527

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平3-240218
特開昭63-033818
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-099319 出願人：株式会社ニコン

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審査官引用 (5件)

特開平3-240218
特開昭63-033818
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-099319 出願人：株式会社ニコン

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