特許
J-GLOBAL ID:200903067595975797
液晶表示素子及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
高橋 敬四郎
, 来山 幹雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-114223
公開番号(公開出願番号):特開2005-300744
出願日: 2004年04月08日
公開日(公表日): 2005年10月27日
要約:
【課題】 表示品質の良好な液晶表示素子の簡易な製造方法を提供する。【解決手段】 第1基板上に第1導電膜、第2基板上に第2導電膜を形成する。表示単位を含む対向領域の第1及び第2電極パタンデータと、相互に相対的に位置合わせされた第1及び第2スリットパタンのデータとをそれぞれ重ね合わせ、完成基板を対向配置し基板の法線方向から見たときに、各基板に形成されたスリットパタンがスリットの幅方向に交互に配置するものとされた第1及び第2レチクルを作製する。第1及び第2レチクルをそれぞれ転写して、スリットパタンを含む電極パタンの第1及び第2マスクを第1及び第2導電膜上にそれぞれ形成し、エッチングを行って、第1及び第2透明電極を形成する。第1及び第2透明電極を覆うように、第1及び第2基板上にそれぞれ第1及び第2配向膜を形成する。第1及び第2基板を略平行に対向配置し接着する。【選択図】 図9
請求項(抜粋):
少なくとも1つの表示単位を含む表示領域において表示を行う液晶表示素子の製造方法であって、
(a)第1の基板上に、第1の透明導電材料膜を形成する工程と、
(b)第2の基板上に、第2の透明導電材料膜を形成する工程と、
(c)表示領域の少なくとも一部の領域を含む領域のデータであって、その領域内に少なくとも1つの表示単位を含む対向領域の第1及び第2の電極パタンデータと、相互に相対的に位置合わせされた第1及び第2のスリットパタンのデータとをそれぞれ重ね合わせて、完成した基板を対向配置し基板の法線方向から見たときに、各基板に形成されたスリットパタンがスリットの幅方向に交互に配置するものとされた第1及び第2のレチクルを作製する工程と、
(d)前記第1及び第2のレチクルをそれぞれ転写して、スリットパタンを含む電極パタンの第1及び第2のマスクを、それぞれ前記第1及び第2の透明導電材料膜上に形成する工程と、
(e)前記第1のマスクが形成された前記第1の透明導電材料膜をエッチングして、前記第1の基板上に前記第1のスリットパタンを含む第1の透明電極を形成する工程と、
(f)前記第2のマスクが形成された前記第2の透明導電材料膜をエッチングして、前記第2の基板上に前記第2のスリットパタンを含む第2の透明電極を形成する工程と、
(g)前記第1及び第2の透明電極を覆うように、前記第1及び第2の基板上にそれぞれ第1及び第2の配向膜を形成する工程と、
(h)前記第1及び第2の基板を、前記第1及び第2の配向膜を向き合わせ、略平行に対向配置し接着する工程と
を有する液晶表示素子の製造方法。
IPC (3件):
G02F1/1343
, G02F1/13
, G02F1/1337
FI (3件):
G02F1/1343
, G02F1/13 101
, G02F1/1337 520
Fターム (22件):
2H088FA03
, 2H088FA10
, 2H088HA02
, 2H088HA03
, 2H088JA05
, 2H088MA07
, 2H090LA01
, 2H090LA03
, 2H090LA04
, 2H090LA06
, 2H090LA09
, 2H090MA01
, 2H092GA02
, 2H092GA05
, 2H092GA13
, 2H092HA04
, 2H092JA24
, 2H092MA13
, 2H092MA14
, 2H092MA17
, 2H092PA10
, 2H092PA11
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)