特許
J-GLOBAL ID：200903067605237528
セラミック接合体とその製造方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高 雄次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-174585
公開番号（公開出願番号）：特開2001-010872
出願日： 1999年06月21日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：
【要約】【課題】 板に対して接合される管又は棒の位置精度や垂直度が高いと共に、接合部の耐食性、耐熱性に優れるセラミック接合体を提供する。【解決手段】 片面に周面を外方へ拡開したテーパー面3とする凹部4が形成され、粒界成分が酸化イットリウムアルミニウム相のAlN焼結体からなる板1と、その凹部のテーパー面と係合可能なテーパー面5が一端部の外周に形成され、上記板と同様のAlN焼結体からなる管2又棒とが、両テーパー面間にAlNと酸化イットリウムアルミニウムを主成分とする接合剤層を介在して接合されている。
請求項（抜粋）：
片面に周面を外方へ拡開したテーパー面とする凹部が形成され、粒界成分が酸化イットリウムアルミニウム相のAlN焼結体からなる板と、その凹部のテーパー面と係合可能なテーパー面が一端部の外周に形成され、上記板と同様のAlN焼結体からなる管又は棒とが、両テーパー面間にAlNと酸化イットリウムアルミニウムを主成分とする接合剤層を介在して接合されていることを特徴とするセラミック接合体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C04B 37/00 A
, H01L 21/68 N
4G026BA16
, 4G026BB16
, 4G026BC01
, 4G026BD12
, 4G026BF04
, 4G026BF06
, 4G026BF44
, 4G026BG04
, 4G026BG25
, 4G026BH13
, 5F031DA13
, 5F031EA01
, 5F031HA02
, 5F031HA03
, 5F031HA10
, 5F031HA17
, 5F031HA37
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る
