特許
J-GLOBAL ID：200903067663009047
薄膜蒸着用反応容器
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
恩田 博宣
, 恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-432051
公開番号（公開出願番号）：特開2004-214669
出願日： 2003年12月26日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：
【課題】薄膜蒸着用反応容器を提供する。【解決手段】分配ブロック52が第1反応ガスを複数の第1反応ガス流に均等に分配し、対称配置された複数の第1ガス移送管53を通してシャワーブロック60に供給する。シャワーブロックの上部拡散ブロック70と中間拡散ブロック80との間において、第1反応ガスは放射状に対称的に形成される複数の第1及び第2メイン流路及び関連するメイン流路から直角に分岐された複数の第1及び第2サブ流路に沿って流れ、複数の第1噴射ホール93から均一に噴射される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ウェーハに向けて反応ガスを噴射するシャワーヘッドを有する薄膜蒸着用反応容器であって、
第1反応ガスの供給ラインと接続されて、前記第1反応ガスを複数の第1反応ガス流に均等に分配する分配ブロックと、前記分配ブロックで分配された前記複数の第1反応ガス流がその中を流れる均等配置された複数の第1ガス移送管と、前記第2反応ガスの供給ラインと接続されてその中を第2反応ガスが流れる第2ガス移送管と、前記複数の第1ガス移送管及び前記第2ガス移送管と接続され、前記シャワーヘッドに固定されたフィーディングブロックとを含むフィーディング部を備え、
前記シャワーヘッドが上部拡散ブロックと中間拡散ブロックと下部拡散ブロックとを積層して構成されたものであり、
前記上部拡散ブロックと前記中間拡散ブロックとの間には、前記複数の第1ガス移送管とそれぞれ連通され、互いに等角度間隔をおいて放射状に形成された複数のメイン流路と、前記複数のメイン流路の各々から直角に延びる複数のサブ流路とが区画され、
前記中間拡散ブロックと前記下部拡散ブロックとの間には、前記第2ガス移送管と連通されて、前記第2反応ガスを均等に拡散するための拡散領域が区画され、
前記第1反応ガスは前記複数のメイン流路及び前記複数のサブ流路と連通した複数の第1噴射ホールから噴射され、前記第2反応ガスは前記拡散領域と連通した複数の第2噴射ホールから噴射される薄膜蒸着用反応容器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (16件)：
4K030CA04
, 4K030EA03
, 4K030EA04
, 4K030FA10
, 4K030KA45
, 4K030LA15
, 5F045AA03
, 5F045AA06
, 5F045BB02
, 5F045EB10
, 5F045EB12
, 5F045EC07
, 5F045EE14
, 5F045EE20
, 5F045EF05
, 5F045GB05
