特許
J-GLOBAL ID：200903067699882766
耐食性セラミックス部材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-123915
公開番号（公開出願番号）：特開平11-302091
出願日： 1998年04月20日
公開日（公表日）： 1999年11月02日
要約：
【要約】【課題】セラミックス基材との密着性に優れたフッ化物表面層を有し、ハロゲン系腐食性ガスプラズマに対して高い腐食性を示す耐食性セラミックス部材を提供する。【解決手段】セラミックスからなる基材上にフッ化物表面層が形成されているセラミックス部材であって、前記基材と前記フッ化物表面層との間に、前記セラミックスとフッ化物との中間層が形成されていることを特徴とする、耐食性セラミックス部材である。上記中間層は、主に、セラミックス焼結体をフッ化水素酸に浸漬させて加熱処理を施すことによって、フッ化物表面層と同時に形成する。
請求項（抜粋）：
セラミックスからなる基材上にフッ化物表面層が形成されているセラミックス部材であって、前記基材と前記フッ化物表面層との間に、前記セラミックス基材とフッ化物とを含んでなる中間層が形成されていることを特徴とする、耐食性セラミックス部材。
IPC (5件)：
C04B 41/87
, C04B 41/89
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
, H01L 21/68
C04B 41/87 Z
, C04B 41/89 Z
, H01L 21/205
, H01L 21/68 N
, H01L 21/302 B
