測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-331373
公開番号（公開出願番号）：特開2000-155024
出願日： 1998年11月20日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：

【要約】【課題】高速化と高精度化とを同時に満足させることができる測定装置を提供する。【解決手段】プローブ1を移動させる駆動系を、その移動方向の略全域に亘って移動させる第1駆動部26と、第1駆動部26によって移動された位置から所定範囲内においてのみ移動させる第2駆動部28とから構成する。測定に際して、プローブ1を、第1駆動部26によって測定点手前まで高速移動させたのち、第2駆動部28によって測定点まで低速移動させる。このときの各駆動部26、28による移動量を検出するロータリエンコーダ27,29の値から被測定物の寸法や形状などを求める。

請求項（抜粋）：

被測定物と検出子とを相対移動させるとともに、その相対移動変位量を検出し、測定点における相対移動変位量から被測定物の寸法や形状を測定する測定装置において、前記被測定物と検出子とを相対移動させる駆動系を、前記被測定物と検出子とをその相対移動方向の略全域に亘って移動させる第1駆動部と、前記被測定物と検出子とを前記第1駆動部によって移動された位置から所定範囲内においてのみ相対移動させる第2駆動部とから構成するとともに、前記被測定物と検出子との相対移動変位量を検出する変位検出手段を、前記第1駆動部による相対移動変位量を検出する第1変位検出器と、前記第2駆動部による相対移動変位量を検出する第2変位検出器とから構成し、測定に際して、第1駆動部によって前記被測定物と検出子とを測定点近傍まで高速で相対移動させたのち、第2駆動部によって前記被測定物と検出子とを測定点まで低速で相対移動させ、測定点における第1変位検出器からの出力および第2変位検出器からの出力を基に被測定物の寸法や形状を求める演算制御手段を備えた、ことを特徴とする測定装置。

Fターム (18件)：

2F069AA04 , 2F069AA66 , 2F069DD15 , 2F069DD19 , 2F069GG01 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069GG63 , 2F069HH01 , 2F069HH15 , 2F069JJ08 , 2F069JJ15 , 2F069JJ19 , 2F069JJ25 , 2F069JJ30 , 2F069MM34 , 2F069MM37 , 2F069MM38

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭61-200419
特開昭61-200419
3次元形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-028649 出願人：トヨタ自動車株式会社

全件表示

前のページに戻る