特許

J-GLOBAL ID：200903067739468763

強誘電体薄膜作製用前駆体溶液、その製造方法、及び強誘電体薄膜の作製方法

発明者： 武田 朋 ,  森山 弘朗 ,  梨本 恵一
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-268827
公開番号（公開出願番号）：特開2001-089138
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2001年04月03日
要約：

【要約】【課題】 各種の電子デバイスやオプトエレクトロニクス用デバイスへ利用可能な、高い品質(密度、結晶性等)を有する強誘電体薄膜を低温で作製するための安定な前駆体を提供すること、およびそのような前駆体を再現性良く製造する方法を提供すること、さらに高品質の強誘電体薄膜を安定的に製造する方法を提供すること。【解決手段】 1)金属に有機配位子が結合した金属化合物を含む強誘電体薄膜作製用前駆体溶液であって、全有機配位子に対して酢酸配位子が10モル%未満含まれることを特徴とする強誘電体薄膜作製用前駆体溶液、2)酢酸金属塩を有機溶媒に溶解し両者を反応させる工程、これにさらに金属アルコキシドを添加し、有機溶媒を補給しつつ加熱蒸留する工程を少なくとも含む前記1)の前駆体溶液の製造方法、3)前記前駆体溶液を基板上に塗布する工程と、その基板を熱処理する工程とを含む強誘電体薄膜の製造方法。

請求項（抜粋）：

金属に有機配位子が結合した金属化合物を含む強誘電体薄膜作製用前駆体溶液であって、全有機配位子に対して酢酸配位子が10モル%未満含まれることを特徴とする強誘電体薄膜作製用前駆体溶液。

IPC (7件)：

C01G 1/02 ,  C01G 25/00 ,  C01G 29/00 ,  H01L 27/10 451 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/8242 ,  H01L 41/24

FI (6件)：

C01G 1/02 ,  C01G 25/00 ,  C01G 29/00 ,  H01L 27/10 451 ,  H01L 27/10 651 ,  H01L 41/22 A

Fターム (12件)：

4G048AA03 ,  4G048AA08 ,  4G048AB05 ,  4G048AC02 ,  4G048AD02 ,  4G048AE05 ,  4G048AE08 ,  5F083FR01 ,  5F083JA13 ,  5F083JA15 ,  5F083PR23 ,  5F083PR33

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 強誘電体薄膜作製用前駆体、その製造方法、及び強誘電体薄膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-218741   出願人：富士ゼロックス株式会社
• 特開平3-069512
  
• 強誘電体薄膜形成用塗布溶液
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-114323   出願人：関東化学株式会社
• 特開平3-069512