特許
J-GLOBAL ID：200903067763308521

加速度と角速度との双方を検出するセンサ

発明者：
岡田 和廣

岡田 和廣 について


出願人/特許権者：
株式会社ワコー

株式会社ワコー について


代理人 (1件)： 志村 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-023959
公開番号（公開出願番号）：特開2008-190931
出願日： 2007年02月02日
公開日（公表日）： 2008年08月21日
要約：
【課題】 単純な構造を採りながら、静的・動的な加速度と角速度とを検出する。【解決手段】 加速度検出部100は、重錘体110と、周囲の台座130と、可撓性をもった板状橋梁部121,123と、その表面に埋め込まれたピエゾ抵抗素子Pとによって構成され、角速度検出部200は、重錘体210と、周囲の台座230と、可撓性をもった板状橋梁部221,223と、その上面に固着された圧電素子D,Eとによって構成される。台座130,230は装置筐体400に固定される。加速度により重錘体110が変位すると、板状橋梁部121,123が撓み、ピエゾ抵抗素子Pの電気抵抗の変化として加速度検出がなされる。圧電素子Eに交流信号を供給して重錘体210を振動させた状態で、角速度に基づくコリオリ力により重錘体210が変位すると、板状橋梁部221,223が撓み、圧電素子Dに生じる電荷により角速度検出がなされる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
加速度検出部と角速度検出部とを備え、 前記加速度検出部は、 加速度検出用重錘体と、この加速度検出用重錘体の周囲を取り囲むように配置された加速度検出用台座と、前記加速度検出用重錘体と前記加速度検出用台座とを連結する加速度検出用可撓性連結部と、前記加速度検出用可撓性連結部の表層部分に埋め込まれたピエゾ抵抗素子と、前記ピエゾ抵抗素子の電気抵抗の変化に基づいて作用した加速度を検出する加速度検出回路と、を備え、 前記角速度検出部は、 角速度検出用重錘体と、この角速度検出用重錘体の周囲を取り囲むように配置された角速度検出用台座と、前記角速度検出用重錘体と前記角速度検出用台座とを連結する角速度検出用可撓性連結部と、前記角速度検出用可撓性連結部の表面に直接もしくは間接的に固着された駆動用圧電素子および検出用圧電素子と、前記駆動用圧電素子に交流信号を供給して前記角速度検出用可撓性連結部を周期的に変形させ前記角速度検出用重錘体に周期的な運動を生じさせながら、前記検出用圧電素子に生じる信号に基づいて作用した角速度を検出する角速度検出回路と、を備え、 前記加速度検出用台座と前記角速度検出用台座とが一体構造をなし、装置筐体に固定されていることを特徴とする加速度と角速度との双方を検出するセンサ。
IPC (7件)：
G01C 19/56 ,  G01P 15/12 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/18 ,  H01L 29/84 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/187
FI (7件)：
G01C19/56 ,  G01P15/12 D ,  G01P9/04 ,  G01P15/00 K ,  H01L29/84 A ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/18 101D
Fターム (17件)：
2F105BB12 ,  2F105BB17 ,  2F105CC04 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA01 ,  4M112CA21 ,  4M112CA23 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA27 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA11 ,  4M112FA20
引用特許：
出願人引用 (3件)

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