特許
J-GLOBAL ID:200903091718476632
加速度と角速度との双方を検出する装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
志村 浩
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-279539
公開番号(公開出願番号):特開2005-031096
出願日: 2004年09月27日
公開日(公表日): 2005年02月03日
要約:
【課題】 加速度と角速度との双方を十分な応答性をもって検出する。 【解決手段】 中心部211と、環状溝が形成された可撓部212と、その外周に位置する周囲部213と、を有する盤状の構造体210を用意し、中心部211の下面に振動子220を接続し、周囲部213を台座230で支持する。電極F5,E0間に交流電圧を加えることにより、振動子220をZ軸方向に励振させる。その状態において、電極F1,E0間の静電容量値もしくは電極F2,E0間の静電容量値の変化を検出する。この検出信号を、バイアス成分と振幅成分とに分離し、バイアス成分に基づいてX軸方向の加速度を求め、振幅成分に基づいてY軸まわりの角速度を求める。【選択図】 図40
請求項(抜粋):
XYZ三次元座標系における所定軸方向の加速度と所定軸まわりの角速度とを同時に検出する装置であって、
下面に環状溝が形成され、前記環状溝が形成された肉厚の薄い部分からなる可撓部と、前記可撓部によって囲まれた中心の部分からなる中心部と、前記可撓部の外周に位置する部分からなる周囲部と、を有し、前記可撓部の撓みにより前記中心部が前記周囲部に対して変位を生じるように構成された構造体と、
前記中心部に接続された質量体からなる振動子と、
前記周囲部を支持する台座と、
前記構造体に対向する位置に配置された蓋板と、
前記構造体に形成された励振用第1電極と、前記蓋板の対向位置に形成された励振用第2電極と、これら両電極間に、検出対象となる加速度および角速度のもつ周波数に対して識別可能な十分に高い周波数の交流電圧を加える回路と、を有し、前記振動子を所定軸方向に前記十分に高い周波数で振動させる機能を有する励振手段と、
前記構造体に形成された検出用第1電極と、前記蓋板の対向位置に形成された検出用第2電極と、これら両電極間の静電容量値を検出する回路と、を有し、検出した前記静電容量値に基づいて前記振動子に作用する力を検出する力検出手段と、
前記力検出手段によって得られる検出信号に基づいて所定軸方向の加速度を求める加速度演算手段と、
前記励振手段を駆動して前記振動子を所定軸方向に振動させ、この状態において得られる前記検出信号に基づいて所定軸まわりの角速度を求める角速度演算手段と、
を備え、
前記加速度と前記角速度とを、同時に検出する機能を有することを特徴とする加速度と角速度との双方を検出する装置。
IPC (3件):
G01C19/56
, G01P9/04
, G01P15/18
FI (3件):
G01C19/56
, G01P9/04
, G01P15/00 K
Fターム (5件):
2F105AA02
, 2F105BB17
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
引用特許:
出願人引用 (2件)
審査官引用 (18件)
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慣性センサー
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-049519
出願人:株式会社東芝
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角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-142764
出願人:キヤノン株式会社
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特開平4-029012
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