特許
J-GLOBAL ID：200903067782647531

水晶振動片、水晶デバイス、および水晶振動片の製造方法

発明者：
安池 亮一

安池 亮一 について


出願人/特許権者：
エプソントヨコム株式会社

エプソントヨコム株式会社 について


代理人 (1件)： 村上 友一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-341003
公開番号（公開出願番号）：特開2009-164824
出願日： 2007年12月28日
公開日（公表日）： 2009年07月23日
要約：
【課題】量産性に優れ、振動部の占有割合の高い逆メサ型の水晶振動片を提供する。【解決手段】上記課題を解決するための水晶振動片は、水晶素板12に対し、振動部16を構成する肉薄部と振動部16に隣接した肉厚部14とをウエットエッチングにより形成するものであって、前記水晶素板12はATカット水晶素板における+Z′軸をY′軸回りに+X軸方向へ回転させることを正の回転角として、Z′軸をY′軸回りに-120°から+60°の範囲で回転させて得られるZ′′軸とこれに垂直に交わるX′軸とのそれぞれに平行な縁辺を有し、振動部16の形成は+Y′軸側主面または-Y′軸側主面のいずれか一方から行い、+Y′軸側主面からエッチングを行った場合には少なくとも+Z′′軸側端部に肉厚部14を設け、-Y′軸側主面からエッチングを行った場合には少なくとも-Z′′軸側端部に肉厚部14を設けたことを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
水晶素板に対し、振動部を構成する肉薄部と振動部に隣接した肉厚部とをウエットエッチングにより形成する水晶振動片であって、 前記水晶素板はATカット水晶素板における+Z′軸をY′軸回りに+X軸方向へ回転させることを正の回転角として、Z′軸をY′軸回りに-120°から+60°の範囲で回転させて得られるZ′′軸とこれに垂直に交わるX′軸とのそれぞれに平行な縁辺を有し、 前記肉薄部の形成は+Y′軸側主面または-Y′軸側主面のいずれか一方から行い、+Y′軸側主面からエッチングを行った場合には少なくとも+Z′′軸側端部に肉厚部を設け、-Y′軸側主面からエッチングを行った場合には少なくとも-Z′′軸側端部に肉厚部を設けたことを特徴とする水晶振動片。
IPC (7件)：
H03H 9/19 ,  H03H 9/02 ,  H03H 3/02 ,  H03B 5/32 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (8件)：
H03H9/19 A ,  H03H9/02 K ,  H03H3/02 C ,  H03B5/32 H ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z
Fターム (33件)：
5J079AA04 ,  5J079BA43 ,  5J079BA44 ,  5J079FA01 ,  5J079HA03 ,  5J079HA07 ,  5J079HA09 ,  5J079HA22 ,  5J079HA25 ,  5J079HA27 ,  5J079HA28 ,  5J079HA29 ,  5J108AA07 ,  5J108BB02 ,  5J108BB03 ,  5J108CC04 ,  5J108CC08 ,  5J108CC09 ,  5J108CC11 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108FF01 ,  5J108FF11 ,  5J108GG03 ,  5J108GG08 ,  5J108GG11 ,  5J108GG15 ,  5J108KK01 ,  5J108MM11 ,  5J108NA02
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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