特許

J-GLOBAL ID：200903067801943465

超臨界流体による洗浄方法

発明者： 井上 均
出願人/特許権者： 財団法人かがわ産業支援財団
代理人 (1件)： 須藤 阿佐子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-179967
公開番号（公開出願番号）：特開2002-001242
出願日： 2000年06月15日
公開日（公表日）： 2002年01月08日
要約：

【要約】【課題】 広い範囲の材料の被洗浄物のに対して、有機系、無機系等汚れの種類を問わず、洗浄むらを作ることなく、腐食を招くことなく、隅々まで効率よく洗浄することができる洗浄方法の提供。【解決手段】 二酸化炭素、および超臨界二酸化炭素に完全混和性のキレート化剤の超臨界流体を用いて被洗浄物の表面を洗浄することを特徴とする被洗浄物の洗浄方法。被洗浄物をキレート化合物として溶解させる機能を有するキレート化剤、好ましくはアセチルアセトンである。金属または金属化合物からなる被洗浄物であり、該金属は、鉄、クロム、ニッケル、銅、亜鉛、すず、アルミニウム、チタンのうちの少なくとも1種類であるか、またはこれらのうちの少なくとも1種類を含む合金である。上記の金属化合物が銅酸化物または亜鉛酸化物である。超臨界流体の中に被洗浄物を保持する。

請求項（抜粋）：

二酸化炭素、および超臨界二酸化炭素に完全混和性のキレート化剤の超臨界流体を用いて被洗浄物の表面を洗浄することを特徴とする被洗浄物の洗浄方法。

IPC (6件)：

B08B 3/08 ,  B08B 3/10 ,  C11D 7/02 ,  C11D 7/26 ,  C11D 7/50 ,  C11D 17/00

FI (6件)：

B08B 3/08 A ,  B08B 3/10 Z ,  C11D 7/02 ,  C11D 7/26 ,  C11D 7/50 ,  C11D 17/00

Fターム (16件)：

3B201AA46 ,  3B201AB01 ,  3B201BB05 ,  3B201BB82 ,  3B201BB90 ,  3B201BB92 ,  3B201BB95 ,  3B201CC21 ,  3B201CD22 ,  4H003BA12 ,  4H003BA23 ,  4H003DA09 ,  4H003EA31 ,  4H003ED32 ,  4H003FA07 ,  4H003FA15

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 超臨界流体による洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-230799   出願人：日本電信電話株式会社
• 無機汚染除去方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-208037   出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド